Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

CVD TaC gecoate grafietring

De CVD TaC gecoate grafietring van Veteksemicon is ontworpen om te voldoen aan de extreme eisen van de verwerking van halfgeleiderwafels. Met behulp van Chemical Vapour Deposition (CVD)-technologie wordt een dichte en uniforme Tantalum Carbide (TaC)-coating aangebracht op zeer zuivere grafietsubstraten, waardoor uitzonderlijke hardheid, slijtvastheid en chemische inertheid worden bereikt. Bij de vervaardiging van halfgeleiders wordt de CVD TaC-gecoate grafietring veel gebruikt in MOCVD-, ets-, diffusie- en epitaxiale groeikamers, en dient als een belangrijk structureel of afdichtingsonderdeel voor waferdragers, susceptors en afschermingsassemblages. Ik kijk uit naar uw verdere overleg.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Poreuze TaC-gecoate grafietring

De poreuze TaC-gecoate grafietring geproduceerd door VETEK maakt gebruik van een lichtgewicht poreus grafietsubstraat en is gecoat met een zeer zuivere tantaalcarbidecoating, met uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieve gassen en plasma-erosie

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC gecoate grafietgeleiderring

Onze TAC-gecoate grafietgeleiderringen zijn precisie-kerncomponenten voor de productie van halfgeleiderwafer. Ze hebben een hoog zuiver grafiet-substraat gecoat met een slijtvast en chemisch inert tantalum carbide (TAC) coating. Ontworpen voor veeleisende processen zoals epitaxiale afzetting en plasma -etsen, ze zorgen voor precieze afstemming en stabiliteit, controleren effectief besmetting en verlengen de levensduur van de componenten aanzienlijk. Veteksemicon biedt aanpassingsdiensten om perfect te matchen met uw apparatuur en procesvereisten.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC -gecoate ring voor PVT -groei van SIC Single Crystal

Als een van de toonaangevende leveranciers van TAC-coatingproducten in China, is Vetek Semiconductor in staat om klanten van hoge kwaliteit TAC-coating op maat gemaakte onderdelen te bieden. TAC -gecoate ring voor PVT -groei van SiC Single Crystal is een van de meest opvallende en volwassen producten van Vetek Semiconductor. Het speelt een belangrijke rol in de PVT-groei van het SIC-kristalproces en kan klanten helpen om hoogwaardige SIC-kristallen te laten groeien. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC gecoate drie-Petal Guide Ring

Vetek Semiconductor heeft vele jaren van technologische ontwikkeling ervaren en heeft de toonaangevende procestechnologie van CVD TAC -coating onder de knie. CVD TAC-gecoate drie-Petal Guide Ring is een van de meest volwassen CVD TAC-coatingproducten van Vetek Semiconductor en is een belangrijk onderdeel voor het bereiden van SIC-kristallen volgens PVT-methode. Met behulp van Vetek Semiconductor geloof ik dat je SIC -kristalproductie soepeler en efficiënter zal zijn.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Tantalum carbide coatingring

Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Ring is een onmisbare component in de halfgeleiderindustrie, met name bij het etsen van SIC -wafels. De combinatie van een grafietbasis en TAC-coating zorgt voor superieure prestaties in hoge temperatuur en chemisch agressieve omgevingen. Met zijn verbeterde thermische stabiliteit, corrosieweerstand en mechanische sterkte helpt de tantalum carbide-gecoate ring halfgeleiderfabrikanten precisie, betrouwbaarheid en hoogwaardige resultaten in hun productieprocessen te bereiken.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

CVD TaC gecoate grafietring

Poreuze TaC-gecoate grafietring

TAC gecoate grafietgeleiderring

TAC -gecoate ring voor PVT -groei van SIC Single Crystal

CVD TAC gecoate drie-Petal Guide Ring

Tantalum carbide coatingring

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres