VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.
De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.
TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:
De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.
Belangrijkste kenmerken:
●Temperatuurstabiliteit
●Ultrahoge zuiverheid
●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si
●Weerstand tegen thermische voorraad
●Sterke hechting op grafiet
●Conforme coatingdekking
● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)
Toepassingen:
●Wafeldrager
● Inductieve verwarmingskroes
● Resistief verwarmingselement
●Satelliet schijf
●Douchekop
●Geleidingsring
●LED Epi-ontvanger
●Injectie mondstuk
●Maskerende ring
● Hitteschild
Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:
Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:
|
Fysische eigenschappen van TaC-coating
|
|
Dikte
|
14,3 (g/cm³)
|
|
Specifieke emissiviteit
|
0.3
|
|
Thermische uitzettingscoëfficiënt
|
6.3 10-6/K
|
|
Hardheid (HK)
|
2000 Hongkong
|
|
Weerstand
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Thermische stabiliteit
|
<2500℃
|
|
Grafietgrootte verandert
|
-10~-20um
|
|
Dikte van de coating
|
≥20um typische waarde (35um±10um)
|
TaC-coating EDX-gegevens：
TaC-coating kristalstructuurgegevens:
|
Element
|
Atoom procent
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Gemiddeld
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
Hen
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
