Producten

Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.


De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.


TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:


Excellent properties of TaC coating graphite


De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.


Belangrijkste kenmerken:

 ●Temperatuurstabiliteit

 ●Ultrahoge zuiverheid

 ●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

 ●Weerstand tegen thermische voorraad

 ●Sterke hechting op grafiet

 ●Conforme coatingdekking

 Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)


Toepassingen:

 ●Wafeldrager

 ● Inductieve verwarmingskroes

 ● Resistief verwarmingselement

 ●Satelliet schijf

 ●Douchekop

 ●Geleidingsring

 ●LED Epi-ontvanger

 ●Injectie mondstuk

 ●Maskerende ring

 ● Hitteschild


Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte 14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit 0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt 6.3 10-6/K
Hardheid (HK) 2000 Hongkong
Weerstand 1×10-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit <2500℃
Grafietgrootte verandert -10~-20um
Dikte van de coating ≥20um typische waarde (35um±10um)


TaC-coating EDX-gegevens

EDX data of TaC coating


TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element Atoom procent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gemiddeld
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Hen 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -coatingbuis

TAC -coatingbuis

De TaC-coatingbuis van VeTek Semiconductor is een sleutelcomponent voor de succesvolle groei van enkele kristallen van siliciumcarbide. Met zijn hoge temperatuurbestendigheid, chemische inertheid en uitstekende prestaties garandeert dit de productie van hoogwaardige kristallen met consistente resultaten. Vertrouw op onze innovatieve oplossingen om uw PVT-methode SiC-kristalgroeiproces te verbeteren en uitstekende resultaten te bereiken. Welkom bij ons.
TAC -coating reserveonderdeel

TAC -coating reserveonderdeel

TAC-coating wordt momenteel voornamelijk gebruikt in processen zoals siliciumcarbide enkele kristalgroei (PVT-methode), epitaxiale schijf (inclusief siliciumcarbide-epitaxie, LED-epitaxie), enz. Gecombineerd met de goede langetermijnstabiliteit van de TAC-coatingplaat, Veteksemicon's TAC-coatingplaat is het bankmark voor TAC-coating voor TAC-coating voor TAC-coating voor TAC-bureaucratie. We kijken ernaar uit dat u onze langdurige partner wordt.
Gan op de EPI -ontvanger

Gan op de EPI -ontvanger

GAN op SIC EPI -susceptor speelt een cruciale rol bij de verwerking van halfgeleiders door zijn uitstekende thermische geleidbaarheid, verwerkingsvermogen en chemische stabiliteit op hoge temperatuur, en zorgt voor de hoge efficiëntie en materiaalkwaliteit van het groeiproces van GAN -epitaxiaal. Vetek Semiconductor is een professionele fabrikant van China van GAN op SIC EPI Susceptor, we kijken oprecht uit naar uw verdere overleg.
CVD TAC -coatingdrager

CVD TAC -coatingdrager

CVD TAC -coatingdrager is voornamelijk ontworpen voor het epitaxiale proces van de productie van halfgeleiders. Het ultrahoge smeltpunt van de CVD TAC-coatingdrager, uitstekende corrosieweerstand en uitstekende thermische stabiliteit bepalen de onmisbaarheid van dit product in het epitaxiale proces van halfgeleider. Verwelkom uw verdere aanvraag.
TaC-gecoate grafietontvanger

TaC-gecoate grafietontvanger

Vetek Semiconductor's TAC -gecoate grafiet Susceptor gebruikt chemische dampafzetting (CVD) -methode om tantalum carbide -coating op het oppervlak van grafietonderdelen te bereiden. Dit proces is het meest volwassen en heeft de beste coatingeigenschappen. TAC -gecoate grafiet Susceptor kan de levensduur van grafietcomponenten verlengen, de migratie van grafietonzuiverheden remmen en de kwaliteit van epitaxy ervoor zorgen. We kijken uit naar uw aanvraag.
TAC Coating Subser

TAC Coating Subser

Vetek Semiconductor presenteert de TAC Coating Susceptor, met zijn uitzonderlijke TAC -coating, deze susceptor biedt een veelvoud aan voordelen die het onderscheiden van conventionele oplossingen. Nadachtig integreren in bestaande systemen, de TAC Coating Susceptor van Vetek Semiconductor garandeert compatibiliteit en efficiënte werking. De betrouwbare prestaties en hoogwaardige TAC-coating leveren consequent uitzonderlijke resultaten in SIC Epitaxy-processen. We zijn toegewijd aan het leveren van kwaliteitsproducten tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.
Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept