Tantaalcarbide coating

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Excellent properties of TaC coating graphite

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.

Belangrijkste kenmerken:

●Temperatuurstabiliteit

●Ultrahoge zuiverheid

●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

●Weerstand tegen thermische voorraad

●Sterke hechting op grafiet

●Conforme coatingdekking

● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

●Wafeldrager

● Inductieve verwarmingskroes

● Resistief verwarmingselement

●Satelliet schijf

●Douchekop

●Geleidingsring

●LED Epi-ontvanger

●Injectie mondstuk

●Maskerende ring

● Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

EDX data of TaC coating

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Hen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf
TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating TaC-coatingontvanger CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

TaC-coatingverwarmer

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater heeft een extreem hoog smeltpunt (ongeveer 3880°C). Het hoge smeltpunt maakt het mogelijk om bij extreem hoge temperaturen te werken, vooral bij de groei van epitaxiale lagen van galliumnitride (GaN) in het metaalorganische chemische dampdepositie (MOCVD). VeTek Semiconductor streeft ernaar klanten op maat gemaakte productoplossingen te bieden. Wij kijken ernaar uit om van u te horen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD TAC-coating

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant van CVD TAC-coatingproducten in China. We concentreren ons al jaren op verschillende CVD TAC Coating-producten, zoals CVD TaC-coatingafdekking en CVD TaC-coatingring. VeTek Semiconductor ondersteunt op maat gemaakte productdiensten en bevredigende productprijzen en kijkt uit naar uw verdere overleg.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC gecoate chuck

Met zijn hoge temperatuurweerstand, chemische inertigheid en uitstekende prestaties, zijn de TAC -tac -gecoate chucks van Vetek Semiconductor ontworpen voor halfgeleiderovens. Wij zijn van mening dat onze producten u geavanceerde technologie- en kwaliteitsproductoplossingen kunnen opleveren.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC -coatingbuis

De TaC-coatingbuis van VeTek Semiconductor is een sleutelcomponent voor de succesvolle groei van enkele kristallen van siliciumcarbide. Met zijn hoge temperatuurbestendigheid, chemische inertheid en uitstekende prestaties garandeert dit de productie van hoogwaardige kristallen met consistente resultaten. Vertrouw op onze innovatieve oplossingen om uw PVT-methode SiC-kristalgroeiproces te verbeteren en uitstekende resultaten te bereiken. Welkom bij ons.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Poreuze tantaalcarbide gecoate grafietring

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

TAC -coating reserveonderdeel

TAC-coating wordt momenteel voornamelijk gebruikt in processen zoals siliciumcarbide enkele kristalgroei (PVT-methode), epitaxiale schijf (inclusief siliciumcarbide-epitaxie, LED-epitaxie), enz. Gecombineerd met de goede langetermijnstabiliteit van de TAC-coatingplaat, Veteksemicon's TAC-coatingplaat is het bankmark voor TAC-coating voor TAC-coating voor TAC-coating voor TAC-bureaucratie. We kijken ernaar uit dat u onze langdurige partner wordt.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Tantaalcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Tantaalcarbide coating

Belangrijkste kenmerken:

Toepassingen:

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC-coating kristalstructuurgegevens:

TaC-coatingverwarmer

CVD TAC-coating

TAC gecoate chuck

TAC -coatingbuis

Poreuze tantaalcarbide gecoate grafietring

TAC -coating reserveonderdeel

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres