Voorbeeld in kaart brengen

Op basis van het fysieke monster dat door de klant is verstrekt (zelfs als het een versleten of gebroken gebruikt onderdeel is), bieden we een volledige service, variërend van reverse engineering van de fysieke structuur tot fysisch-chemische karakterisering op materiaalniveau. Door gebruik te maken van uiterst nauwkeurige inspectieapparatuur van halfgeleiderkwaliteit kwantificeren we nauwkeurig complexe geometrische 3D-structuren, coating-/substraatinterface-eigenschappen en fysieke materiaalparameters, waardoor we ervoor zorgen dat het reverse-engineered product voldoet aan of overtreft de OEM-normen op het gebied van fysieke pasvorm, procescompatibiliteit en levensduur (Form-Fit-Function Replacement).

Wat we meten (technische resultaten):

• Dimensionale en geometrische toleranties:Met behulp van uiterst nauwkeurige coördinatenmeetmachines (CMM) en optische 3D-scanners voeren we puntenwolkmodellering en reconstructie op volledige grootte uit van complexe holtestructuren en montage-/lokalisatiegaten, waardoor nauwkeurigheid op micronniveau wordt bereikt.
• Oppervlaktemicromorfologie en vlakheid:Door gebruik te maken van witlicht-interferometers en optische profilometers om de oppervlakteruwheid (Ra) op nanometerschaal en de vlakheid over grote oppervlakken te evalueren, wordt voldaan aan de vereisten voor het hanteren van wafers en het afdichten van kamers.
• Edge Micro-functies:In kaart brengen met hoge vergroting van de R-stralen van de randen en de microprofielen van de afschuiningen om de klimmorfologie van de coating te optimaliseren en spanningsconcentratie bij scherpe hoeken te vermijden die delaminatie bij hoge temperaturen kan veroorzaken.
• Grafietsubstraat en thermische matchinganalyse:Beoordeling van de dichtheid, korrelgrootte en thermische uitzettingscoëfficiënt (CTE) van zeer zuiver grafiet om te zorgen voor aanpassing van de thermische spanning tussen substraat en CVD-coating.
• Coatingdoorsnede en interfacehechtingskwaliteit:Niet-destructieve XRF en metallografische dwarsdoorsnede SEM-analyse om de absolute dikte, radiale uniformiteit van de CVD-coating en grensvlakpenetratiediepte te meten.
• Fasestructuur en microkristalanalyse:XRD-evaluatie van de zuiverheid van CVD SiC in de kubieke fase (β-SiC); kwalitatieve beoordeling van chemische stoichiometrie en kristalstructuurkarakteristieken van CVD TaC.

Real Case & klantvoordelen (ervaring):

Een klant van 12-inch halfgeleideretscomponenten:OEM-levering stopgezet; er was slechts één versleten gebruikt onderdeel beschikbaar. Via CMM reverse modelling + SEM-analyse van de dwarsdoorsnede van de coating hebben we de ontwikkeling van vervangende onderdelen en het testen op het gereedschap binnen 2 maanden voltooid zonder originele tekeningen, waardoor een installatie van 100% werd gerealiseerd. Uiteindelijk werd de inkoopcyclus voor componenten teruggebracht van de oorspronkelijke importdoorlooptijd van zes maanden naar twee maanden, de inkoopkosten per eenheid daalden met 42% en dit model is stabiel geleverd voor meer dan 30 batches.

Siliciumcarbide (SiC) coating op dwarsdoorsnede van de SEM-coating

Veelgestelde vragen

Start nu uw exclusieve service