Siliciumcarbide keramiek

VeTek Semiconductor is uw innovatieve partner op het gebied van halfgeleiderverwerking. Met ons uitgebreide portfolio van materiaalcombinaties van siliciumcarbide-keramiek van halfgeleiderkwaliteit, productiecapaciteiten voor componenten en applicatie-engineeringdiensten kunnen we u helpen belangrijke uitdagingen het hoofd te bieden. Engineering technisch Siliciumcarbide keramiek wordt op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitzonderlijke materiaalprestaties. De ultrazuivere siliciumcarbide-keramiek van VeTek Semiconductor wordt vaak gebruikt gedurende de gehele cyclus van de productie en verwerking van halfgeleiders.

DIFFUSIE & LPCVD-VERWERKING

VeTek Semiconductor levert speciaal ontworpen keramische componenten die specifiek zijn ontworpen voor batchdiffusie- en LPCVD-vereisten, waaronder:

• Schotten en houders
• Injectoren
• Liners en procesbuizen
• Siliciumcarbide cantilever-peddels
• Waferboten en sokkels

SiC cantileverpeddel SiC-procesbuizen Siliciumcarbide procesbuis SiC verticale wafelboot SiC horizontale wafelboot SiC horizontale quare waferboot SiC LPCVD wafelboot SiC horizontale plaatboot SiC keramische afdichtring

ETS PROCESCOMPONENTEN

Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking, waaronder:

Focusringen

Sproeiers

Schilden

Douchekoppen

Ramen / Deksels

Andere aangepaste componenten

SNELLE THERMISCHE VERWERKING & EPITAXIALE PROCESCOMPONENTEN

VeTek Semiconductor levert geavanceerde materiaalcomponenten die op maat zijn gemaakt voor thermische verwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen in de halfgeleiderindustrie. Deze toepassingen omvatten RTP, Epi-processen, diffusie, oxidatie en uitgloeien. Onze technische keramiek is ontworpen om thermische schokken te weerstaan en betrouwbare en consistente prestaties te leveren. Met de componenten van VeTek Semiconductor kunnen halfgeleiderfabrikanten een efficiënte en hoogwaardige thermische verwerking realiseren, wat bijdraagt aan het algehele succes van de halfgeleiderproductie.

• Verspreiders

• Isolatoren

• Susceptoren

• Andere op maat gemaakte thermische componenten

Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide
Eigendom	Typische waarde
Werktemperatuur (°C)	1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving)
SiC/SiC-gehalte	> 99,96%
Si / Gratis Si-inhoud	< 0,1%
Bulkdichtheid	2,60-2,70 g/cm3
Schijnbare porositeit	< 16%
Compressie sterkte	> 600 MPa
Koude buigsterkte	80-90 MPa (20°C)
Hete buigsterkte	90-100 MPa (1400°C)
Thermische uitzetting @1500°C	4,70 10-6/°C
Thermische geleidbaarheid @1200°C	23 W/m•K
Elasticiteitsmodulus	240 GPa
Bestand tegen thermische schokken	Zeer goed

7N zeer zuivere CVD SiC-grondstof

De kwaliteit van het oorspronkelijke bronmateriaal is de belangrijkste factor die de wafelopbrengst bij de productie van SiC-eenkristallen beperkt. VETEK's 7N High-Purity CVD SiC Bulk biedt een polykristallijn alternatief met hoge dichtheid voor traditionele poeders, speciaal ontwikkeld voor Physical Vapor Transport (PVT). Door gebruik te maken van een bulk-CVD-formulier elimineren we veelvoorkomende groeifouten en verbeteren we de ovendoorvoer aanzienlijk. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Siliciumcarbide zaadkristalverlijming Vacuüm-hetepersoven

De SiC-zaadbindingstechnologie is een van de belangrijkste processen die de kristalgroei beïnvloeden. VETEK heeft een gespecialiseerde vacuüm-hetepersoven ontwikkeld voor zaadbinding op basis van de kenmerken van dit proces. De oven kan verschillende defecten die tijdens het zaadbindingsproces worden gegenereerd effectief verminderen, waardoor de opbrengst en de uiteindelijke kwaliteit van de kristalstaaf worden verbeterd.

Siliciumcassetteboot

De Silicon Cassette Boat van Veteksemicon is een nauwkeurig ontworpen waferdrager die speciaal is ontwikkeld voor halfgeleideroventoepassingen bij hoge temperaturen, waaronder oxidatie, diffusie, drive-in en gloeien. Het is vervaardigd uit ultrazuiver silicium en afgewerkt volgens geavanceerde normen voor verontreinigingsbeheersing. Het biedt een thermisch stabiel, chemisch inert platform dat nauw aansluit bij de eigenschappen van siliciumwafels zelf. Deze uitlijning minimaliseert thermische spanning, vermindert slip- en defectvorming en zorgt voor een uitzonderlijk uniforme warmteverdeling door de batch

Siliciumcarbide cantileverpeddel voor wafelverwerking

De Silicon Carbide Cantilever Paddle van Veteksemicon is ontworpen voor geavanceerde waferverwerking bij de productie van halfgeleiders. Het is gemaakt van zeer zuiver SiC en levert uitstekende thermische stabiliteit, superieure mechanische sterkte en uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en corrosieve omgevingen. Deze kenmerken zorgen voor een nauwkeurige handling van wafers, een langere levensduur en betrouwbare prestaties bij processen zoals MOCVD, epitaxie en diffusie. Welkom om te raadplegen.

Silicium carbide robotarm

Onze siliciumcarbide (sic) robotarm is ontworpen voor high-performance waferafhandeling in geavanceerde halfgeleiderproductie. Deze robotarm, gemaakt van siliciumcarbide met een hoog zuivere, biedt uitzonderlijke weerstand tegen hoge temperaturen, plasmacorrosie en chemische aanval, waardoor betrouwbare werking wordt gewaarborgd in veeleisende cleanroomomgevingen. De uitzonderlijke mechanische sterkte en dimensionale stabiliteit maken precieze waferafhandeling mogelijk, terwijl de besmettingsrisico's worden geminimaliseerd, waardoor het een ideale keuze is voor MOCVD, epitaxie, ionenimplantatie en andere kritische waferafhandelingstoepassingen. Wij verwelkomen uw vragen.

Silicium carbide sic wafer boot

Veteksemicon SIC-wafelboten worden veel gebruikt in kritieke hoge-temperatuurprocessen in de productie van halfgeleiders, die dienen als betrouwbare dragers voor oxidatie, diffusie en gloeiprocessen voor geïntegreerde circuits op basis van siliconen. Ze blinken ook uit in de halfgeleidersector van de derde generatie, perfect geschikt voor veeleisende processen zoals epitaxiale groei (EPI) en metaal-organische chemische dampdepositie (MOCVD) voor SIC- en GAN-vermogensapparaten. Ze ondersteunen ook de hoogtemperatuurfabricage van zeer efficiënte zonnecellen in de fotovoltaïsche industrie. Ik kijk uit naar uw verdere consult.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu