Producten

Siliciumcarbide keramiek

VeTek Semiconductor is uw innovatieve partner op het gebied van halfgeleiderverwerking. Met ons uitgebreide portfolio van materiaalcombinaties van siliciumcarbide-keramiek van halfgeleiderkwaliteit, productiecapaciteiten voor componenten en applicatie-engineeringdiensten kunnen we u helpen belangrijke uitdagingen het hoofd te bieden. Engineering technisch Siliciumcarbide keramiek wordt op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitzonderlijke materiaalprestaties. De ultrazuivere siliciumcarbide-keramiek van VeTek Semiconductor wordt vaak gebruikt gedurende de gehele cyclus van de productie en verwerking van halfgeleiders.


DIFFUSIE & LPCVD-VERWERKING

VeTek Semiconductor levert speciaal ontworpen keramische componenten die specifiek zijn ontworpen voor batchdiffusie- en LPCVD-vereisten, waaronder:

• Schotten en houders
• Injectoren
• Liners en procesbuizen
• Siliciumcarbide cantilever-peddels
• Waferboten en sokkels


ETS PROCESCOMPONENTEN

Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking, waaronder:

Focusringen

Sproeiers

Schilden

Douchekoppen

Ramen / Deksels

Andere aangepaste componenten


SNELLE THERMISCHE VERWERKING & EPITAXIALE PROCESCOMPONENTEN

VeTek Semiconductor levert geavanceerde materiaalcomponenten die op maat zijn gemaakt voor thermische verwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen in de halfgeleiderindustrie. Deze toepassingen omvatten RTP, Epi-processen, diffusie, oxidatie en uitgloeien. Onze technische keramiek is ontworpen om thermische schokken te weerstaan ​​en betrouwbare en consistente prestaties te leveren. Met de componenten van VeTek Semiconductor kunnen halfgeleiderfabrikanten een efficiënte en hoogwaardige thermische verwerking realiseren, wat bijdraagt ​​aan het algehele succes van de halfgeleiderproductie.

• Verspreiders

• Isolatoren

• Susceptoren

• Andere op maat gemaakte thermische componenten


Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide
Eigendom Typische waarde
Werktemperatuur (°C) 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving)
SiC/SiC-gehalte > 99,96%
Si / Gratis Si-inhoud < 0,1%
Bulkdichtheid 2,60-2,70 g/cm3
Schijnbare porositeit < 16%
Compressie sterkte > 600 MPa
Koude buigsterkte 80-90 MPa (20°C)
Hete buigsterkte 90-100 MPa (1400°C)
Thermische uitzetting @1500°C 4,70 10-6/°C
Thermische geleidbaarheid @1200°C 23 W/m•K
Elasticiteitsmodulus 240 GPa
Bestand tegen thermische schokken Zeer goed


View as  
 
Poreuze SIC keramische plaat

Poreuze SIC keramische plaat

Onze poreuze SIC -keramische platen zijn poreuze keramische materialen gemaakt van siliciumcarbide als de belangrijkste component en verwerkt door speciale processen. Het zijn onmisbare materialen in de productie van halfgeleiders, chemische dampafzetting (CVD) en andere processen.
Sic keramiek wafelboot

Sic keramiek wafelboot

Vetek Semiconductor is een toonaangevende SIC Ceramics Wafer Boat Leverancier, fabrikant en fabriek in China. Onze SIC Ceramics Wafer -boot is een essentieel onderdeel in geavanceerde waferafhandelingsprocessen, gericht op de fotovoltaïsche, elektronica- en halfgeleiderindustrie. Ik kijk uit naar uw consult.
Siliconen carbide keramische wafelboot

Siliconen carbide keramische wafelboot

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in het leveren van hoogwaardige waferboten, sokkels en op maat gemaakte waferdragers in verticale/kolom- en horizontale configuraties om te voldoen aan verschillende halfgeleiderprocesvereisten. Als toonaangevende fabrikant en leverancier van siliciumcarbidecoatingfilms wordt onze keramische waferboot van siliciumcarbide door de Europese en Amerikaanse markten gewaardeerd vanwege hun hoge kosteneffectiviteit en uitstekende kwaliteit, en worden ze veel gebruikt in geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen. VeTek Semiconductor streeft naar langdurige en stabiele samenwerkingsrelaties met wereldwijde klanten, en hoopt vooral uw betrouwbare halfgeleiderprocespartner in China te worden.
Siliconencarbide (SIC) Cantilever -paddle

Siliconencarbide (SIC) Cantilever -paddle

De rol van Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle in de halfgeleiderindustrie is het ondersteunen en transporteren van wafers. Bij processen bij hoge temperaturen, zoals diffusie en oxidatie, kan de SiC-cantileverpeddel stabiel waferboten en wafers vervoeren zonder vervorming of schade als gevolg van hoge temperaturen, waardoor een soepel verloop van het proces wordt gegarandeerd. Het uniformer maken van diffusie, oxidatie en andere processen is cruciaal voor het verbeteren van de consistentie en opbrengst van waferverwerking. VeTek Semiconductor maakt gebruik van geavanceerde technologie om SiC-cantileverpaddles te bouwen met zeer zuiver siliciumcarbide om ervoor te zorgen dat wafers niet worden vervuild. VeTek Semiconductor kijkt uit naar een langdurige samenwerking met u op het gebied van Silicon Carbide (SiC) Cantilever Paddle-producten.
Quartz Crucible

Quartz Crucible

Vetek Semiconductor is een toonaangevende Quartz Crucible leverancier en fabrikant in China. De Quartz -smeltkroes die we produceren worden voornamelijk gebruikt in de halfgeleider- en fotovoltaïsche velden. Ze hebben de eigenschappen van netheid en hoge temperatuurweerstand. En onze Quartz Crucible voor halfgeleider ondersteunt de productieprocessen van het trekken van siliciumhengel, laden en lossen van polysilicium -grondstoffen in het productieproces van het siliciumwafer van het halfgeleider en zijn belangrijke verbruiksartikelen voor de productie van siliciumwafers. Vetek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.
Siliciumcarbide waferdrager

Siliciumcarbide waferdrager

Als professionele leverancier van siliciumcarbide-wafeldragers in China is VeTek Semiconductor SiC-wafeldrager een hulpmiddel dat speciaal wordt gebruikt voor het hanteren en verwerken van halfgeleiderwafels, dat een onvervangbare rol speelt in het halfgeleiderwafelproces. Welkom bij uw verdere consultatie.
Als professional Siliciumcarbide keramiek fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide keramiek gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept