QR code

Over ons
Producten
Neem contact met ons op
Telefoon
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China
VeTek Semiconductor is uw innovatieve partner op het gebied van halfgeleiderverwerking. Met ons uitgebreide portfolio van materiaalcombinaties van siliciumcarbide-keramiek van halfgeleiderkwaliteit, productiecapaciteiten voor componenten en applicatie-engineeringdiensten kunnen we u helpen belangrijke uitdagingen het hoofd te bieden. Engineering technisch Siliciumcarbide keramiek wordt op grote schaal toegepast in de halfgeleiderindustrie vanwege hun uitzonderlijke materiaalprestaties. De ultrazuivere siliciumcarbide-keramiek van VeTek Semiconductor wordt vaak gebruikt gedurende de gehele cyclus van de productie en verwerking van halfgeleiders.
VeTek Semiconductor levert speciaal ontworpen keramische componenten die specifiek zijn ontworpen voor batchdiffusie- en LPCVD-vereisten, waaronder:
• Schotten en houders
• Injectoren
• Liners en procesbuizen
• Siliciumcarbide cantilever-peddels
• Waferboten en sokkels
SiC cantileverpeddel
SiC-procesbuizen
Siliciumcarbide procesbuis
SiC verticale wafelboot
SiC horizontale wafelboot
SiC horizontale quare waferboot
SiC LPCVD wafelboot
SiC horizontale plaatboot
SiC keramische afdichtring
Minimaliseer verontreiniging en ongepland onderhoud met zeer zuivere componenten die zijn ontworpen voor de ontberingen van plasma-etsverwerking, waaronder:
Focusringen
Sproeiers
Schilden
Douchekoppen
Ramen / Deksels
Andere aangepaste componenten
VeTek Semiconductor levert geavanceerde materiaalcomponenten die op maat zijn gemaakt voor thermische verwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen in de halfgeleiderindustrie. Deze toepassingen omvatten RTP, Epi-processen, diffusie, oxidatie en uitgloeien. Onze technische keramiek is ontworpen om thermische schokken te weerstaan en betrouwbare en consistente prestaties te leveren. Met de componenten van VeTek Semiconductor kunnen halfgeleiderfabrikanten een efficiënte en hoogwaardige thermische verwerking realiseren, wat bijdraagt aan het algehele succes van de halfgeleiderproductie.
• Verspreiders
• Isolatoren
• Susceptoren
• Andere op maat gemaakte thermische componenten
Fysische eigenschappen van herkristalliseerd siliciumcarbide | |
Eigendom | Typische waarde |
Werktemperatuur (°C) | 1600°C (met zuurstof), 1700°C (reducerende omgeving) |
SiC/SiC-gehalte | > 99,96% |
Si / Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
Bulkdichtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
Schijnbare porositeit | < 16% |
Compressie sterkte | > 600 MPa |
Koude buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
Hete buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
Thermische uitzetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Thermische geleidbaarheid @1200°C | 23 W/m•K |
Elasticiteitsmodulus | 240 GPa |
Bestand tegen thermische schokken | Zeer goed |
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Alle rechten voorbehouden.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |