Siliciumcarbide zaadkristalverlijming Vacuüm-hetepersoven

De SiC-zaadbindingstechnologie is een van de belangrijkste processen die hierop van invloed zijnkristal groei.VETEK heeft een gespecialiseerdvacuüm hetepersovenvoor zaadbinding op basis van de kenmerken van dit proces. De oven kan verschillende defecten die tijdens het zaadbindingsproces worden gegenereerd effectief verminderen, waardoor de opbrengst en de uiteindelijke kwaliteit van de kristalstaaf worden verbeterd.

Introduceren

1. De oven wordt eerder gebruikt voor zaadbindingSiC-kristalgroei

2. Het gebonden zaad kan stevig bevestigd blijven bij een temperatuur van 2300 ℃, waarbij 100% hechting behouden blijft zonder luchtbellen, met een hoge vlakheid, een schoon oppervlak van het zaad en geen geadsorbeerde onzuiverheden

3. Het verwarmde platform is aangenomen door weerstandsverwarming van een spiraalvormige schijfvormige, uniforme verwarmingszone, het is veilig in gebruik, eenvoudig te bedienen

4.De onderkant van het laadplatform is voorzien van krachtsensoren, waarmee de neerwaartse kracht op het werkstuk nauwkeurig kan worden weergegeven 

Functie Introductie

1. De watergekoelde metalen kamer van de dubbelwandige wand vermindert de buitenoppervlaktetemperatuur van het ovenlichaam effectief, minimaliseert schade door hoge temperaturen en verlaagt de impact op het milieu.

2. Het kan een automatische toename van de neerwaartse kracht en het vasthouden van de kracht bereiken, de langzame laadkracht en de verplaatsing kunnen automatisch worden geregeld.

3. Er zijn gediversifieerde vacuümconfiguraties beschikbaar en afhankelijk van het proces kunnen verschillende vacuümniveaus worden geselecteerd.

4. Uniforme druk en nauwkeurigheid bij hoge temperatuurregeling.

5. De downforce-structuur heeft een nauwkeurig mechanisch stuwkrachtontwerp, wat zorgt voor nauwkeurige en stabiele downforce, veilig gebruik en milieuvriendelijkheid.

6. De neerwaartse stempel is op een "universele" manier verbonden met de duwstang. Het is ervoor te zorgen dat wanneer het werkstuk wordt onderdrukt, het oppervlak van de neerwaartse stempel zich adaptief evenwijdig aan het oppervlak van de verwarmde plaatvorm bevindt, zodat het werkstuk de uniforme neerwaartse kracht draagt.

7. De neerwaartse stempel heeft de functie van het bufferen van de neerwaartse kracht van het laden, waardoor een soepele en zachte neerwaartse kracht wordt geboden zonder impact, om zo scheuren van het werkstuk te voorkomen.

9. Zowel het verwarmde platform als de neerwaartse stempel zijn uitgerust met een thermisch isolatieschild om het ineffectieve temperatuurverlies te verminderen.

Parameter

Functie

1. Langzaam vacuümpompen, instelbare vacuümpompsnelheid

2. Grote kamer, grote upgraderuimte

3. De neerwaartse stempel loopt stabiel en werkt automatisch

4. De downforce langzame verlichting en langzame toename, downforce-helling volgens automatische besturing van het recept

5. Nauwkeurig geprogrammeerde controle van temperatuur en neerwaartse kracht

6. De parameters vacuüm, neerwaartse kracht en temperatuur kunnen vrij worden ingesteld om aan verschillende hechtingsprocessen te voldoen

7.De verlijming is compact en vrij van luchtbellen

8. Het scheurpercentage is extreem laag, waarbij bijna geen scheurtjes worden veroorzaakt door problemen met de apparatuur

9. Compatibel met de zaadbinding van 6-12 inch

10.Max. neerwaartse kracht: 1,6 T

11. Ultiem vacuüm: 5 Pa (koud)

12. Temperatuuruniformiteit van het verwarmde platform: <±3℃,σ<4(200℃)

13. Fluctuatie van druk: <0,5%