Oxidatie- en diffusie -oven

Oxidatie- en diffusieversten worden gebruikt op verschillende gebieden zoals halfgeleiderapparaten, discrete apparaten, opto-elektronische apparaten, elektronische apparaten van stroom, zonnecellen en grootschalige geïntegreerde circuitproductie. Ze worden gebruikt voor processen zoals diffusie, oxidatie, gloeien, legering en sintering van wafels.

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant die gespecialiseerd is in de productie van grafiet, siliciumcarbide en kwartscomponenten in oxidatie- en diffusieversten. We zijn toegewijd aan het leveren van hoogwaardige ovencomponenten voor de halfgeleider en fotovoltaïsche industrieën, en staan voorop in de technologie voor oppervlaktecoating, zoals CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon, enz.

De voordelen van Vetek Semiconductor Silicon Carbide -componenten:

● Hoge temperatuurweerstand (tot 1600 ℃)

● Uitstekende thermische geleidbaarheid en thermische stabiliteit

● Goede chemische corrosieweerstand

● Lage coëfficiënt van thermische expansie

● Hoge sterkte en hardheid

● Lange levensduur

In oxidatie- en diffusieversten, vanwege de aanwezigheid van hoge temperatuur en corrosieve gassen, vereisen veel componenten het gebruik van hoge-temperatuur- en corrosiebestendige materialen, waaronder siliciumcarbide (sic) een veelgebruikte keuze. De volgende zijn veel voorkomende siliciumcarbide -componenten die worden gevonden in oxidatiegeonderen en diffusieveranden:

● Wafelboot

Silicium carbide wafer boot is een container die wordt gebruikt om siliciumwafels te dragen, die hoge temperaturen kunnen weerstaan en niet reageren met siliciumwafels.

● ovenbuis

De ovenbuis is de kerncomponent van de diffusie -oven, gebruikt om siliciumwafels te huisvesten en de reactieomgeving te regelen. Siliciumcarbide-ovenbuizen hebben uitstekende prestaties op hoge temperatuur en corrosieweerstand.

● Schotplaat

Gebruikt om de luchtstroom en temperatuurverdeling in de oven te reguleren

● Thermokoppelbeveiligingsbuis

Gebruikt om temperatuur te beschermen voor het meten van thermokoppels tegen direct contact met corrosieve gassen.

● Cantilever -peddel

Siliciumcarbide Cantilever -peddels zijn bestand tegen hoge temperatuur en corrosie en worden gebruikt om siliciumboten of kwartsboten te transporteren die siliciumwafels in de diffusie -ovenbuizen dragen.

● Gasinjector

Gebruikt om reactiegas in de oven te introduceren, moet het bestand zijn tegen hoge temperatuur en corrosie.

● Boatdrager

Siliconen carbide wafer bootdrager wordt gebruikt om siliciumwafels te repareren en te ondersteunen, die voordelen hebben zoals hoge sterkte, corrosieweerstand en goede structurele stabiliteit.

● ovendeur

Siliciumcarbide coatings of componenten kunnen ook worden gebruikt aan de binnenkant van de ovendeur.

● Verwarmingselement

Siliciumcarbide verwarmingselementen zijn geschikt voor hoge temperaturen, hoog vermogen en kunnen snel de temperaturen verhogen tot meer dan 1000 ℃.

● SIC -voering

Gebruikt om de binnenwand van ovenbuizen te beschermen, kan het helpen het verlies van warmte -energie te verminderen en bestand te zijn tegen zware omgevingen zoals hoge temperatuur en hoge druk.

View as

Silicium carbide robotarm

Onze siliciumcarbide (sic) robotarm is ontworpen voor high-performance waferafhandeling in geavanceerde halfgeleiderproductie. Deze robotarm, gemaakt van siliciumcarbide met een hoog zuivere, biedt uitzonderlijke weerstand tegen hoge temperaturen, plasmacorrosie en chemische aanval, waardoor betrouwbare werking wordt gewaarborgd in veeleisende cleanroomomgevingen. De uitzonderlijke mechanische sterkte en dimensionale stabiliteit maken precieze waferafhandeling mogelijk, terwijl de besmettingsrisico's worden geminimaliseerd, waardoor het een ideale keuze is voor MOCVD, epitaxie, ionenimplantatie en andere kritische waferafhandelingstoepassingen. Wij verwelkomen uw vragen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Silicium carbide sic wafer boot

Veteksemicon SIC-wafelboten worden veel gebruikt in kritieke hoge-temperatuurprocessen in de productie van halfgeleiders, die dienen als betrouwbare dragers voor oxidatie, diffusie en gloeiprocessen voor geïntegreerde circuits op basis van siliconen. Ze blinken ook uit in de halfgeleidersector van de derde generatie, perfect geschikt voor veeleisende processen zoals epitaxiale groei (EPI) en metaal-organische chemische dampdepositie (MOCVD) voor SIC- en GAN-vermogensapparaten. Ze ondersteunen ook de hoogtemperatuurfabricage van zeer efficiënte zonnecellen in de fotovoltaïsche industrie. Ik kijk uit naar uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Sic cantilever peddels

Veteksemicon sic cantilever-peddels zijn hoge zuivere siliciumcarbide ondersteunende armen ontworpen voor waferafhandeling in horizontale diffusiegaven en epitaxiale reactoren. Met uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, corrosieweerstand en mechanische sterkte zorgen deze peddels voor stabiliteit en netheid in veeleisende halfgeleideromgevingen. Beschikbaar in aangepaste maten en geoptimaliseerd voor een lange levensduur.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Sic keramiekmembraan

Veteksemicon SIC -keramiekmembranen zijn een type anorganisch membraan en behoren tot vaste membraanmaterialen in membraanscheidingstechnologie. SIC -membranen worden afgevuurd op een temperatuur boven 2000 ℃. Het oppervlak van de deeltjes is glad en rond. Er zijn geen gesloten poriën of kanalen in de ondersteuningslaag en elke laag. Ze zijn meestal samengesteld uit drie lagen met verschillende poriegroottes.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Poreuze SIC keramische plaat

Onze poreuze SIC -keramische platen zijn poreuze keramische materialen gemaakt van siliciumcarbide als de belangrijkste component en verwerkt door speciale processen. Het zijn onmisbare materialen in de productie van halfgeleiders, chemische dampafzetting (CVD) en andere processen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Sic keramiek wafelboot

Vetek Semiconductor is een toonaangevende SIC Ceramics Wafer Boat Leverancier, fabrikant en fabriek in China. Onze SIC Ceramics Wafer -boot is een essentieel onderdeel in geavanceerde waferafhandelingsprocessen, gericht op de fotovoltaïsche, elektronica- en halfgeleiderindustrie. Ik kijk uit naar uw consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Als professional Oxidatie- en diffusie -oven fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Oxidatie- en diffusie -oven gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Oxidatie- en diffusie -oven

De voordelen van Vetek Semiconductor Silicon Carbide -componenten:

Silicium carbide robotarm

Silicium carbide sic wafer boot

Sic cantilever peddels

Sic keramiekmembraan

Poreuze SIC keramische plaat

Sic keramiek wafelboot

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres