Silicium carbide robotarm

De siliciumcarbide-robotarm van Veteksemicon is een high-end halfgeleiderverwerkingsoplossing die speciaal is ontworpen voor harde industriële omgevingen. Het gebruik van geavanceerde hoog-zuivere siliciumcarbidemateriaaltechnologie, vertoont het uitzonderlijke stabiliteit en duurzaamheid in hoge temperaturen, corrosieve omgevingen en ultrahoge vacuümomstandigheden. Als een belangrijk onderdeel van het hanteren van wafers, etsen en depositieprocessen, verbetert onze robotarm de productiviteit aanzienlijk en verlaagt de onderhoudskosten.

Ⅰ. Technische parameters

Ⅱ. Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm Core Voordelen

1. Extreme omgevingstolerantie

Onze robotarm maakt gebruik van een uniek geformuleerde SiC-coating die meerdere afzettingsprocessen op hoge temperatuur ondergaat, waardoor het structurele integriteit bij aanhoudende temperaturen van 1500 ° C kan handhaven en effectief corrosie van plasmabombardement en sterk zuur- en alkalische omgevingen kan behouden. Dit gaat fundamenteel aan op de pijnpunten van traditionele materialen die gevoelig zijn voor veroudering en een korte levensduur hebben onder extreme werkomstandigheden.

2. Uitstekende mechanische eigenschappen

Door een samengestelde structuur van grafietsubstraat en SIC -coating aan te nemen, hebben we een stijfheid bereikt die veel groter is dan die van metalen materialen, terwijl de arm extreem licht is. Dit ontwerp zorgt ervoor dat de vervorming van de robotarm extreem klein is tijdens een snelle spierende beweging, waardoor de jitter effectief wordt onderdrukt, waardoor de herhaalde positioneringsnauwkeurigheid binnen ± 0,02 mm stevig wordt geregeld, wat zorgt voor de veilige transmissie van precisiekrachtwafels.

3. Ultrahoge netheid

We begrijpen dat deeltjesbesmetting de belangrijkste moordenaar van opbrengst is. Daarom ondergaat elke robotarm precisiepolijst- en gespecialiseerde oppervlaktebehandeling, wat resulteert in een oppervlakteruwheid RA van minder dan 0,1 μm. De coating houdt zich veilig vast, waardoor elk risico op peeling wordt voorkomen. Onze producten zijn 100% netheid getest, volledig voldaan aan ultrahoge cleanroom-vereisten en klaar voor gebruik in ultramoderne productielijnen.

4. Lange dienstverleedheid

Dankzij de inherente hardheid van SIC van 3000 HV en uitstekende slijtvastheid ervaren onze robotarmen minimale prestatiedegradatie, zelfs na tienduizenden bewegingscycli. Hun levensduur is meerdere keren die van gewone keramische of aluminiumlegeringscomponenten, waardoor downtime voor vervanging en onderhoud aanzienlijk wordt verminderd, waardoor een aanzienlijke algemene kosteneffectiviteit voor onze klanten wordt geleverd.

Ⅲ. Hoofdtoepassingsvelden

Veteksemicon silicium carbide robot arm 'ecologische kettingverificatie omvat grondstoffen aan de productie, heeft internationale standaardcertificering aangenomen en heeft een aantal gepatenteerde technologieën om de betrouwbaarheid en duurzaamheid in de halfgeleider en nieuwe energievelden te waarborgen. Welkom om ons op elk moment te raadplegen.