Producten

De kristalgroei van siliciumcarbide is een kernproces bij de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten. De stabiliteit, precisie en compatibiliteit van kristalgroeiapparatuur bepalen rechtstreeks de kwaliteit en opbrengst van siliciumcarbide-ingots. Gebaseerd op de kenmerken van Physical Vapor Transport (PVT)-technologie heeft Veteksemi een weerstandsverwarmingsoven ontwikkeld voor de groei van siliciumcarbidekristallen, waardoor een stabiele groei van 6-inch, 8-inch en 12-inch siliciumcarbidekristallen mogelijk wordt gemaakt met volledige compatibiliteit met geleidende, semi-isolerende en N-type materiaalsystemen. Door nauwkeurige controle van temperatuur, druk en vermogen vermindert het effectief kristaldefecten zoals EPD (Etch Pit Density) en BPD (Basal Plane Dislocation), terwijl het een laag energieverbruik en een compact ontwerp heeft om te voldoen aan de hoge normen van industriële grootschalige productie.

De SiC-zaadbindingstechnologie is een van de belangrijkste processen die de kristalgroei beïnvloeden. VETEK heeft een gespecialiseerde vacuüm-hetepersoven ontwikkeld voor zaadbinding op basis van de kenmerken van dit proces. De oven kan verschillende defecten die tijdens het zaadbindingsproces worden gegenereerd effectief verminderen, waardoor de opbrengst en de uiteindelijke kwaliteit van de kristalstaaf worden verbeterd.

De Veteksemicon SiC-gecoate epitaxiale reactorkamer is een kerncomponent die is ontworpen voor veeleisende epitaxiale groeiprocessen van halfgeleiders. Door gebruik te maken van geavanceerde chemische dampafzetting (CVD) vormt dit product een dichte, zeer zuivere SiC-coating op een zeer sterk grafietsubstraat, wat resulteert in superieure stabiliteit bij hoge temperaturen en corrosieweerstand. Het is effectief bestand tegen de corrosieve effecten van reactantgassen in procesomgevingen met hoge temperaturen, onderdrukt deeltjesverontreiniging aanzienlijk, zorgt voor een consistente epitaxiale materiaalkwaliteit en hoge opbrengst, en verlengt aanzienlijk de onderhoudscyclus en levensduur van de reactiekamer. Het is een belangrijke keuze voor het verbeteren van de productie-efficiëntie en betrouwbaarheid van halfgeleiders met een grote bandafstand, zoals SiC en GaN.

De Silicon Cassette Boat van Veteksemicon is een nauwkeurig ontworpen waferdrager die speciaal is ontwikkeld voor halfgeleideroventoepassingen bij hoge temperaturen, waaronder oxidatie, diffusie, drive-in en gloeien. Het is vervaardigd uit ultrazuiver silicium en afgewerkt volgens geavanceerde normen voor verontreinigingsbeheersing. Het biedt een thermisch stabiel, chemisch inert platform dat nauw aansluit bij de eigenschappen van siliciumwafels zelf. Deze uitlijning minimaliseert thermische spanning, vermindert slip- en defectvorming en zorgt voor een uitzonderlijk uniforme warmteverdeling door de batch

In het kernproces van epitaxiale groei van siliciumcarbide begrijpt Veteksemicon dat de prestaties van de susceptor rechtstreeks de kwaliteit en productie-efficiëntie van de epitaxiale laag bepalen. Onze zeer zuivere EPI-susceptoren, speciaal ontworpen voor het SiC-veld, maken gebruik van een speciaal grafietsubstraat en een dichte CVD SiC-coating. Met hun superieure thermische stabiliteit, uitstekende corrosieweerstand en extreem lage deeltjesgeneratie garanderen ze een ongeëvenaarde dikte en doteringsuniformiteit voor klanten, zelfs in zware procesomgevingen met hoge temperaturen. Kiezen voor Veteksemicon betekent kiezen voor de hoeksteen van betrouwbaarheid en prestaties voor uw geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen.

Veteksemicon SiC-gecoate grafiet susceptor voor ASM is een kerndragercomponent in epitaxiale halfgeleiderprocessen. Dit product maakt gebruik van onze gepatenteerde pyrolytische siliciumcarbide-coatingtechnologie en precisiebewerkingsprocessen om superieure prestaties en een ultralange levensduur te garanderen in hoge temperaturen en corrosieve procesomgevingen. We begrijpen de strenge eisen van epitaxiale processen op het gebied van substraatzuiverheid, thermische stabiliteit en consistentie zeer goed, en streven ernaar klanten stabiele, betrouwbare oplossingen te bieden die de algehele prestaties van de apparatuur verbeteren.