Producten

Veteksemicon kwartskroezen van halfgeleiderkwaliteit zijn belangrijke verbruiksartikelen in het Czochralski-groeiproces voor éénkristal. Met extreme zuiverheid en superieure thermische stabiliteit als onze kernfocus, streven we ernaar klanten producten van hoge kwaliteit te bieden die stabiele prestaties en uitstekende weerstand tegen kristallisatie onder omgevingen met hoge temperaturen en hoge druk vertonen. Dit garandeert de kwaliteit van de kristalstaven vanaf de bron, waardoor de productie van halfgeleider-siliciumwafels hogere opbrengsten en een betere kosteneffectiviteit kan realiseren.

Veteksemicon focusring is speciaal ontworpen voor veeleisende halfgeleideretsapparatuur, met name SiC-etstoepassingen. Gemonteerd rond de elektrostatische klem (ESC), dicht bij de wafer, heeft de primaire functie het optimaliseren van de elektromagnetische veldverdeling binnen de reactiekamer, waardoor een uniforme en gerichte plasmaactie over het gehele waferoppervlak wordt gegarandeerd. Een hoogwaardige focusring verbetert de uniformiteit van de etssnelheid aanzienlijk en vermindert randeffecten, waardoor de productopbrengst en productie-efficiëntie direct worden verhoogd.

Veteksemicon siliciumcarbide draagplaat voor LED-etsen, speciaal ontworpen voor de productie van LED-chips, is een belangrijk verbruiksartikel in het etsproces. Het is gemaakt van nauwkeurig gesinterd, zeer zuiver siliciumcarbide en biedt uitzonderlijke chemische bestendigheid en maatvastheid bij hoge temperaturen, waardoor het effectief bestand is tegen corrosie door sterke zuren, basen en plasma. De lage contaminatie-eigenschappen zorgen voor hoge opbrengsten voor epitaxiale LED-wafels, terwijl de duurzaamheid, die veel groter is dan die van traditionele materialen, klanten helpt de totale bedrijfskosten te verlagen, waardoor het een betrouwbare keuze is voor het verbeteren van de efficiëntie en consistentie van het etsproces.

De Veteksemicon-grafietboot voor PECVD is nauwkeurig vervaardigd uit hoogzuiver grafiet en speciaal ontworpen voor plasma-versterkte chemische dampafzettingsprocessen. Door gebruik te maken van ons diepgaande inzicht in halfgeleider thermische veldmaterialen en precisiebewerkingsmogelijkheden, bieden we grafietboten met uitzonderlijke thermische stabiliteit, uitstekende geleidbaarheid en een lange levensduur. Deze boten zijn ontworpen om een ​​zeer uniforme dunnefilmafzetting op elke wafer in de veeleisende PECVD-procesomgeving te garanderen, waardoor de procesopbrengst en productiviteit worden verbeterd.

De CVD TaC gecoate grafietring van Veteksemicon is ontworpen om te voldoen aan de extreme eisen van de verwerking van halfgeleiderwafels. Met behulp van Chemical Vapour Deposition (CVD)-technologie wordt een dichte en uniforme Tantalum Carbide (TaC)-coating aangebracht op zeer zuivere grafietsubstraten, waardoor uitzonderlijke hardheid, slijtvastheid en chemische inertheid worden bereikt. Bij de vervaardiging van halfgeleiders wordt de CVD TaC-gecoate grafietring veel gebruikt in MOCVD-, ets-, diffusie- en epitaxiale groeikamers, en dient als een belangrijk structureel of afdichtingsonderdeel voor waferdragers, susceptors en afschermingsassemblages. Ik kijk uit naar uw verdere overleg.

De poreuze TaC-gecoate grafietring geproduceerd door VETEK maakt gebruik van een lichtgewicht poreus grafietsubstraat en is gecoat met een zeer zuivere tantaalcarbidecoating, met uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieve gassen en plasma-erosie