Zeer zuiver ondoorzichtig kwartsscherm en sluiter voor MOCVD

1. Technische specificaties

Wij bieden uiterst nauwkeurige bewerkingen op basis van uw technische tekeningen om een ​​perfecte aansluiting op uw specifieke uitrustingsmodellen te garanderen.

2. Kerntoepassingsvelden

● MOCVD-procesbescherming: Dient als essentiële interne schilden/voeringen om de reactieomgeving te beschermen.

● Halfgeleider-epitaxie: Gebruikt als zeer nauwkeurige sluiters voor stromings- en temperatuurstabilisatie tijdens dunnefilmgroei.

● Productie van halfgeleiders met een brede bandbreedte: Compatibel met veeleisende omgevingen voor GaN en andere geavanceerde materialen.

3. Waarom kiezen voor VETEK-kwartsoplossingen?

● Superieur beheer van thermische straling: Ons melkwitte kwarts bevat een hoge dichtheid aan microbellen die thermische straling bij hoge temperaturen (>1000°C) effectief verstrooien en blokkeren. Het absorbeert zichtbaar en nabij-infraroodlicht van verwarmingselementen en zet dit om in ver-infraroodstraling, waardoor een zeer gelijkmatige verwarming wordt gegarandeerd.
● Contaminatiebeheersing en eenvoudig onderhoud: Als opofferings- of vervangbare binnenvoering houdt het Quartz Shield de reactiekamer schoon door de afzetting van bijproducten op dure kamerwanden en verwarmingstoestellen te voorkomen. Deze onderdelen kunnen worden geregenereerd door nat reinigen (zoals SPM+DHF-oplossingen) of eenvoudig worden vervangen om hoge waferopbrengsten te garanderen.
● Extreme chemische bestendigheid: VETEK-kwarts is ontworpen om frequente thermische cycli te weerstaan ​​en corrosie door organische metaalverbindingen (zoals TMGa) en hydriden (zoals AsH₃) te weerstaan.
● Precisieprocescontrole: Onze kwartsluiken behouden een hoge maatvastheid bij infrarood- of gloeidraadverwarming. Hun lage thermische traagheid maakt een snelle mechanische respons mogelijk, waardoor nauwkeurige groeicontrole op atomair niveau mogelijk is en kruisbesmetting tijdens het schakelen tussen wafers of meerdere processen wordt voorkomen.
● Kosteneffectief alternatief: Voor projecten met strikte budgetvereisten bieden onze kwartsproducten een betrouwbaar instappunt vergeleken met gecoat grafiet, en bieden ze essentiële bescherming en functionaliteit voor MOCVD-systemen.