Semiconductor Quartz Bell Jar

LaarsHalfgeleiderKwarts stolpspeelt meerdere belangrijke rollen in de verwerking van halfgeleiders. de Bell Jar vacuümsysteemBiedt niet alleen een stabiele en gecontroleerde reactieomgeving, maar zorgt ook voor de efficiëntie en precisie van verschillende processen door zijn uitstekende thermische stabiliteit, chemische inertie en optische transparantie. Deze kenmerken bepalen dat ookbel -vacuümkameris een onmisbaar componentproduct in het productieproces van het halfgeleider.

ZadenHalfgeleiderkwarts creëert een afgesloten verwerkingsomgeving waardoor procesgassen gelijkmatig kunnen worden verdeeld en onder gecontroleerde omstandigheden met het waferoppervlak kunnen reageren. Daarom,Halfgeleider kwarts stolpwordt meestal gebruikt in processen zoals CVD, diffusie en oxidatie om de samenstelling en druk van de atmosfeer nauwkeurig te controleren, waardoor de uniformiteit van de film en de zuiverheid van het materiaal wordt gegarandeerd.

Tegelijkertijd hebben kwartsmaterialen een uitstekende thermische stabiliteit, weerstand met hoge temperatuur (de hoge temperatuuromgeving in halfgeleiderverwerking is meestal zo hoog als 1000 ° C of meer), en productkenmerken van het handhaven van stabiele vorm en grootte tijdens verwarming en koeling. Dit bepaalt dat deKwarts stolpkan de uniformiteit van de oppervlaktetemperatuur van de wafel in de hoge temperatuuromgeving van diffusie en oxidatie volledig garanderen, waardoor de kwaliteit en uniformiteit van de afgezette of diffuse laag wordt verbeterd.

Wat nog belangrijker is,ZadenSemiconductor High Purity Quartz reageert niet gemakkelijk met procesgassen in omgevingen met hoge temperaturen en heeft een sterke corrosieweerstand. Dit productkenmerk bepaalt dat bij processen waarbij corrosieve gassen worden gebruikt (zoals sommige CVD-processen),Halfgeleider kwarts stolpkan de chemische stabiliteit volledig behouden, waardoor verontreiniging van halfgeleiderapparaten wordt vermeden.

Het halfgeleiderKwarts stolp:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: