Sic single crystal groeiproces reserveonderdelen

Het product van Veteksemicon, detantalum carbide (TAC) coatingProducten voor SIC Single Crystal Growth Proces, gaat de uitdagingen aan die verband houden met de groeipelinterface van siliciumcarbide (SIC) kristallen, met name de uitgebreide defecten die zich aan de rand van het kristal voordoen. Door TAC -coating toe te passen, willen we de kwaliteit van de kristalgroei verbeteren en het effectieve gebied van het centrum van het kristal vergroten, wat cruciaal is voor het bereiken van een snelle en dikke groei.

TAC-coating is een kerntechnologische oplossing voor het kweken van hoge kwaliteitSic Single Crystal Growth Proces. We hebben met succes een TAC -coatingtechnologie ontwikkeld met behulp van chemische dampafzetting (CVD), die een internationaal geavanceerd niveau heeft bereikt. TAC heeft uitzonderlijke eigenschappen, waaronder een hoog smeltpunt van maximaal 3880 ° C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en thermische schokweerstand. Het vertoont ook een goede chemische inertie en thermische stabiliteit bij blootstelling aan hoge temperaturen en stoffen zoals ammoniak, waterstof en siliciumbevattende stoom.

Vekekemicon'stantalum carbide (TAC) coatingBiedt een oplossing om de randgerelateerde problemen in SIC single crystal groeiproces aan te pakken, waardoor de kwaliteit en efficiëntie van het groeiproces wordt verbeterd. Met onze geavanceerde TAC-coatingtechnologie willen we de ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie van de derde generatie ondersteunen en de afhankelijkheid van geïmporteerde belangrijke materialen verminderen.

PVT -methode SIC Single Crystal Growth Proces reserveonderdelen:

TAC -gecoate smeltkroes, zaadhouder met TAC -coating, TAC -coatinggeleiderring zijn belangrijke onderdelen in SIC en AIN enkele kristaloven volgens PVT -methode.

● Hoge temperatuurweerstand

●  Hoge zuiverheid, zal geen SIC -grondstoffen en SIC enkele kristallen vervuilen.

●  Resistent tegen Al Steam en N₂corrosion

●  Hoge eutectische temperatuur (met ALN) om de kristalbereidingscyclus te verkorten.

●  Recyclebaar (tot 200H), het verbetert de duurzaamheid en efficiëntie van de bereiding van dergelijke enkele kristallen.