Tantalum carbide gecoate ring

Vetek halfgeleider tantalum carbide gecoate ring is gemaakt vangrafieten gecoat met tantalumcarbide, een combinatie die gebruik maakt van de beste eigenschappen van beide materialen om superieure prestaties en levensduur te garanderen. 

De TAC -coating op de tantalum carbide -coatingring zorgt ervoor dat deze chemisch inert blijft in de reactieve atmosferen van SIC -kristalgroei -ovens, die vaak gassen zoals waterstof, argon en stikstof omvatten. Deze chemische inertie is van vitaal belang om elke verontreiniging van het groeiende kristal te voorkomen, wat zou kunnen leiden tot defecten en verminderde prestaties van de uiteindelijke halfgeleiderproducten. Bovendien kan de thermische stabiliteit die door de TAC -coating wordt geleverd, de tantalumcarbide -coatingring effectief werkt bij de hoge temperaturen die nodig zijn voor SIC -kristalgroei, meestal hoger dan 2000 ° C.

Dichte en uniforme TAC -coating kan worden bereid op grafietoppervlak door plasma -spuiten, CVD -methode en slurry sintering -methode, maar de spuitmethode van de plasma heeft hoge apparatuurvereisten en TA2C -vorming. Het is moeilijk om samengestelde coating te bereiden door een slurry sintering -methode, en de thermische schokweerstand van coating is slecht. De coating bereid door CVD -methode heeft een controleerbare samenstelling en de hoogste dichtheid, wat momenteel een veel voorkomende tantalum carbide -coatingmethode is.

De mechanische eigenschappen van TAC verminderen de slijtage van de tantalum carbide -coatingring aanzienlijk. Dit is cruciaal vanwege de repetitieve aard van het kristalgroeiproces, dat de geleiderring blootstelt aan frequente thermische cycli en mechanische spanningen. De hardheid en slijtvastheid van TAC zorgt ervoor dat de TAC -gecoate ring zijn structurele integriteit en precieze afmetingen gedurende lange periodes handhaaft, waardoor de behoefte aan frequente vervangingen wordt geminimaliseerd en de downtime in het productieproces wordt verminderd. 

De bulkdichtheid van tantalum carbide -coating is 14,3 g/cm3, emissiviteit 0,3, hardheid is 2000HK, smeltpunt is 3950s ℃ en goede fysische eigenschappen zijn geselecteerd als een gemeenschappelijk materiaal voor de derde generatie halfgeleiders.

Bovendien optimaliseert de combinatie van grafiet en TAC in de tantalum carbide -coatingring thermisch beheer in de kristalgroei -oven. De hoge thermische geleidbaarheid van Graphite verdeelt efficiënt warmte, het voorkomen van hotspots en het bevorderen van uniforme kristalgroei. Ondertussen dient de TAC -coating als een thermische barrière, waarbij de grafietkern wordt beschermd tegen directe blootstelling aan hoge temperaturen en reactieve gassen. Deze synergie tussen de kern- en coatingmaterialen resulteert in een geleiderring die niet alleen bestand is tegen de harde omstandigheden vanSIC Crystal Growingmaar verbetert ook de algehele efficiëntie en kwaliteit van het proces.

Vetek Semiconductor Tantalum carbide gecoate ring is een essentieel onderdeel in de halfgeleiderindustrie, specifiek ontworpen voor de groei vanSilicium carbide kristallen. Het ontwerp maakt gebruik van de sterke punten van grafiet en tantalumcarbide om uitzonderlijke prestaties te leveren in omgevingen hoge temperatuur, hoge stress. De TAC-coating zorgt voor chemische inertie, mechanische duurzaamheid en thermische stabiliteit, die allemaal cruciaal zijn voor het produceren van hoogwaardige SIC-kristallen. Door de integriteit en functionaliteit onder extreme omstandigheden te handhaven, ondersteunt de ring de efficiënte en defectvrije groei van SIC-kristallen, wat bijdraagt ​​aan de vooruitgang van krachtige en hoogfrequente halfgeleiderapparaten.

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier vanTantalum carbide coating, Siliciumcarbide coatingEnSpeciale grafietin China. We zijn al lang toegewijd aan het verstrekken van geavanceerde technologie- en productoplossingen voor de halfgeleiderindustrie en hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te zijn.

Tantalum carbide (TAC) coatingop een microscopische dwarsdoorsnede：

Overzicht van deSemiconductor Chip Epitaxy Industry Chain：