TAC -gecoate ring

Veteksemi TAC -gecoate ring is een hoogwaardige component op maat gemaakt voor productieprocessen voor halfgeleiders. De uniek ontworpen tantalum carbide (TAC) coating geeft het product een uitstekende weerstand van hoge temperatuur, corrosieweerstand en mechanische stabiliteit, waardoor de levensduur van de services en de betrouwbaarheid van grafietcomponenten in halfgeleiderapparatuur aanzienlijk wordt verbeterd.

Superieure prestaties van tantalum carbide coatings ：

● Ultrahoge temperatuurweerstand: TAC-coatings kunnen gemakkelijk de extreme temperaturen van maximaal 2200 ° C weerstaan ​​en stabiel blijven onder thermische schokomgevingen die gebruikelijk zijn in de productie van halfgeleiders.

● Uitstekende chemische stabiliteit: de coating vertoont een sterke weerstand tegen gemeenschappelijke corrosieve gassen zoals waterstof, ammoniak, silaan en silicium, waardoor het substraat effectief wordt beschermd tegen chemische aanval.

● Uitstekende mechanische eigenschappen: TAC -coating heeft een hoge hardheid, hoge slijtvastheid en goede thermische schokweerstand en kan lang stabiel werken onder harde werkomstandigheden.

● Uitstekende hechting: de coating is strak gebonden aan het grafietsubstraat, waardoor de coating effectief kan worden afgezet en consistente prestaties gedurende de levensduur van het product zorgt.

● Hoge zuiverheid: de door CVD opgesteld TAC -coating heeft een extreem hoge zuiverheid, wat de introductie van onzuiverheden minimaliseert en een schone procesomgeving biedt voor de productie van halfgeleiders.

Voordelen van tantalum carbide gecoate ringen:

● Levensduur uitgebreide apparatuur: TAC -coating blokkeert effectief chemische reacties en diffusie van onzuiverheid, waardoor de levensduur van grafietcomponenten aanzienlijk wordt verlengd en de onderhoudskosten worden verlaagd.

● Verbeter de productie -efficiëntie: De weerstand van de hoge temperatuur en de corrosieweerstand van het product stellen het in staat om onder meer veeleisende omstandigheden te werken, de productiecyclus te verkorten en de productiecapaciteit te vergroten.

● Verbeterde productkwaliteit: Hoge zuiverheid TAC -coating helpt de verontreiniging te verminderen en de kwaliteit en consistentie van halfgeleiderproducten te waarborgen.

Vetek Semiconductor is gespecialiseerd in TAC -coatingproducten zoals zoalsTAC Coating Chuck, TAC -coatingrotatieplaat, TAC Coating Subser, TAC gecoate wafer susceptorAl vele jaren. Onze TAC -gecoate ringproducten hebben de functies van langdurige levensduur van apparatuur, verbeterde productie -efficiëntie en verbeterde productkwaliteit. Tegelijkertijd is Vetek Semiconductor al lang toegewijd aan het bieden van geavanceerde technologie- en productoplossingen voor de halfgeleiderindustrie. 

Vanwege de verschillende chemische eigenschappen van grafiet- en tantalum carbide -materialen, zal de coëfficiënt van thermische expansie niet overeenkomen en is het gemakkelijk om bij hoge temperatuur te worden verwarmd door een Vetek halfgeleider door een specifiek proces om de vorming van tantalum carbide coating gedeeltelijk afgezet op het oppervlak van de matrix en gedeeltelijk gepensioneerde in de grafietmatrix te bevorderen. Op deze manier is de tantalum carbide-coating strak genest in de grafietmatrix door groei in situ, wat de bindkracht tussen de coating en de matrix aanzienlijk verhoogt en effectief de pelting van de tantalum carbide-coating verhoogt. We hopen oprecht te worden om uw langetermijnpartner in China te worden.

Tantalum carbide gecoate ringen winkels: