Materialen en ontwerp

Het selecteren van de juiste combinatie van substraat en coating is de sleutel tot het voorkomen van vroegtijdig falen van componenten, het verminderen van deeltjesverontreiniging en het maximaliseren van de wafelopbrengst. Wij bieden op maat gemaakte materiaal- en structurele ontwerpoplossingen rond het specifieke procesvenster van de klant (bedrijfstemperatuur, reactieve gaschemie, hellingspercentages).

Onze kernontwerpmogelijkheden:

• Rigoureuze CTE-stressmatching:Voor snelle thermische cycli (>100 °C/min) komen we nauwkeurig overeen met de CTE-temperatuurcurven van zeer zuivere grafietsubstraten en CVD-coatings, waardoor het risico op delaminatie van de coating en microscheurtjes fundamenteel wordt verminderd.
• Processcenariospecifieke coatingselectie:CVD SiC-coating voor Si/SiC-epitaxie (Epi), MOCVD en plasma-etsomgevingen; CVD TaC-coating voor hogere temperaturen en sterk corrosieve omstandigheden (bijv. SiC-eenkristal-PVT-groei).
• Regelbare weerstands- en thermische geleidbaarheidsoptimalisatie:Nauwkeurige controle van de bulkweerstand en thermische geleidbaarheid van substraat en coating om te voldoen aan specifieke elektrische en thermische veldvereisten van RF, ESC-elektrostatische klauwplaten of verwarmingszones.
• Controle van besmettingsbronnen en CoO-reductie:Hoogzuivere CVD-afzettingslagen sluiten poreus grafiet dicht af, waardoor het afstoten van deeltjes, de diffusie van ultra-spoormetaalonzuiverheden en het risico op ontgassing bij hoge temperaturen aanzienlijk worden verminderd.

Vergelijking van typische coatingselecties (gids in één oogopslag)

Real Case & klantvoordelen (ervaring):

Een toonaangevende fabrikant van SiC-epitaxie (Epi):Het originele onderdeel maakte gebruik van een niet-overeenkomende CVD TaC-coating, wat resulteerde in overmatige grensvlakspanning en frequente microscheurtjes bij hoge temperaturen. We hebben de thermodynamische simulaties opnieuw uitgevoerd en zijn overgestapt op aCTE-gematched speciaal grafietsubstraat met hoge zuiverheid + bufferlaag + CVD SiC-coatingoplossing. Resultaat: de gemiddelde levensduur van de componenten is toegenomen van 200 uur naar 850 uur; jaarlijkse vervangingsfrequentie per gereedschap gedaald van 40 naar 9 keer; De uitgebreide O&M-kostenbesparingen op apparatuur bedroegen meer dan RMB 650.000 per jaar.

GDMS-zuiverheidsanalyserapport voor TaC- en SiC-coatings

Veelgestelde vragen

Start nu uw exclusieve service