Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

Epitaxiale reactorkamer met SiC-coating

De Veteksemicon SiC-gecoate epitaxiale reactorkamer is een kerncomponent die is ontworpen voor veeleisende epitaxiale groeiprocessen van halfgeleiders. Door gebruik te maken van geavanceerde chemische dampafzetting (CVD) vormt dit product een dichte, zeer zuivere SiC-coating op een zeer sterk grafietsubstraat, wat resulteert in superieure stabiliteit bij hoge temperaturen en corrosieweerstand. Het is effectief bestand tegen de corrosieve effecten van reactantgassen in procesomgevingen met hoge temperaturen, onderdrukt deeltjesverontreiniging aanzienlijk, zorgt voor een consistente epitaxiale materiaalkwaliteit en hoge opbrengst, en verlengt aanzienlijk de onderhoudscyclus en levensduur van de reactiekamer. Het is een belangrijke keuze voor het verbeteren van de productie-efficiëntie en betrouwbaarheid van halfgeleiders met een grote bandafstand, zoals SiC en GaN.

EPI-ontvangeronderdelen

In het kernproces van epitaxiale groei van siliciumcarbide begrijpt Veteksemicon dat de prestaties van de susceptor rechtstreeks de kwaliteit en productie-efficiëntie van de epitaxiale laag bepalen. Onze zeer zuivere EPI-susceptoren, speciaal ontworpen voor het SiC-veld, maken gebruik van een speciaal grafietsubstraat en een dichte CVD SiC-coating. Met hun superieure thermische stabiliteit, uitstekende corrosieweerstand en extreem lage deeltjesgeneratie garanderen ze een ongeëvenaarde dikte en doteringsuniformiteit voor klanten, zelfs in zware procesomgevingen met hoge temperaturen. Kiezen voor Veteksemicon betekent kiezen voor de hoeksteen van betrouwbaarheid en prestaties voor uw geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen.

SiC-gecoate grafiet susceptor voor ASM

Veteksemicon SiC-gecoate grafiet susceptor voor ASM is een kerndragercomponent in epitaxiale halfgeleiderprocessen. Dit product maakt gebruik van onze gepatenteerde pyrolytische siliciumcarbide-coatingtechnologie en precisiebewerkingsprocessen om superieure prestaties en een ultralange levensduur te garanderen in hoge temperaturen en corrosieve procesomgevingen. We begrijpen de strenge eisen van epitaxiale processen op het gebied van substraatzuiverheid, thermische stabiliteit en consistentie zeer goed, en streven ernaar klanten stabiele, betrouwbare oplossingen te bieden die de algehele prestaties van de apparatuur verbeteren.

Siliciumcarbide scherpstelring

Veteksemicon focusring is speciaal ontworpen voor veeleisende halfgeleideretsapparatuur, met name SiC-etstoepassingen. Gemonteerd rond de elektrostatische klem (ESC), dicht bij de wafer, heeft de primaire functie het optimaliseren van de elektromagnetische veldverdeling binnen de reactiekamer, waardoor een uniforme en gerichte plasmaactie over het gehele waferoppervlak wordt gegarandeerd. Een hoogwaardige focusring verbetert de uniformiteit van de etssnelheid aanzienlijk en vermindert randeffecten, waardoor de productopbrengst en productie-efficiëntie direct worden verhoogd.

Siliciumcarbide draagplaat voor LED-etsen

Veteksemicon siliciumcarbide draagplaat voor LED-etsen, speciaal ontworpen voor de productie van LED-chips, is een belangrijk verbruiksartikel in het etsproces. Het is gemaakt van nauwkeurig gesinterd, zeer zuiver siliciumcarbide en biedt uitzonderlijke chemische bestendigheid en maatvastheid bij hoge temperaturen, waardoor het effectief bestand is tegen corrosie door sterke zuren, basen en plasma. De lage contaminatie-eigenschappen zorgen voor hoge opbrengsten voor epitaxiale LED-wafels, terwijl de duurzaamheid, die veel groter is dan die van traditionele materialen, klanten helpt de totale bedrijfskosten te verlagen, waardoor het een betrouwbare keuze is voor het verbeteren van de efficiëntie en consistentie van het etsproces.

Massieve SiC focusring

De Veteksemi-massieve SiC-focusring verbetert de etsuniformiteit en processtabiliteit aanzienlijk door het elektrische veld en de luchtstroom aan de waferrand nauwkeurig te regelen. Het wordt veel gebruikt in precisie-etsprocessen voor silicium, diëlektrica en samengestelde halfgeleidermaterialen, en is een sleutelcomponent voor het garanderen van massaproductie en een betrouwbare werking van apparatuur op de lange termijn.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu