Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

View as

SIC gecoate wafer drager voor etsen

Als een toonaangevende Chinese fabrikant en leverancier van siliciumcarbide -coatingproducten, speelt de SIC -gecoate waferdrager van Veteksemsemicon voor ets een onvervangbare kernrol in het etsproces met zijn uitstekende stabiliteit met hoge temperatuur, uitstekende corrosieweerstand en hoge thermische geleidbaarheid.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD SIC gecoate wafer susceptor

De CVD SIC-gecoate wafer-susceptor van VetEkSemicon is een geavanceerde oplossing voor halfgeleider-epitaxiale processen, die ultra-hoge zuiverheid biedt (≤100PPB, ICP-E10 gecertificeerd) en uitzonderlijke thermische/chemische stabiliteit voor de contaminatie-resistentgroei van GAN, SIC en silicon-gebaseerde EPI-layers. Het is ontworpen met precisie CVD -technologie, ondersteunt Wafels van 6 "/8"/12 ", zorgt voor minimale thermische spanning en bestand tegen extreme temperaturen tot 1600 ° C.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC gecoate planetaire susceptor

Onze SIC -gecoate planetaire susceptor is een kerncomponent in het hoge temperatuurproces van de productie van halfgeleiders. Het ontwerp combineert grafietsubstraat met siliciumcarbide -coating om een uitgebreide optimalisatie van thermische beheerprestaties, chemische stabiliteit en mechanische sterkte te bereiken.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

SIC gecoate afdichtring voor epitaxie

Onze SIC-gecoate afdichtring voor Epitaxy is een krachtige afdichtingscomponent op basis van grafiet of koolstof-koolstofcomposieten bedekt met hoogzuiver siliciumcarbide (SIC) door chemische dampdepositie (CVD), die de thermische stabiliteit van grafiet combineert met de extreme milieuweerstand van SIC en is ontworpen voor semiconductor-apparatuur (e.g., MOCVD, MOCVD, MOCVD, MOCVD, MOCVD).

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Enkele wafel Epi Graphite Undertaker

Veteksemicon enkele wafer Epi grafiet Susceptor is ontworpen voor krachtige siliciumcarbide (SIC), galliumnitride (GAN) en andere epitaxiale proces van halfgeleider van de derde generatie en is de kernlagercomponent van hoog-nauwkeurige epitaxiale blad in de massaproductie.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Plasma etsen focusring

Een belangrijk onderdeel dat wordt gebruikt in het etsenproces van de waferfabricage is de focusring van de plasma -etsen, waarvan de functie is om de wafer op zijn plaats te houden om de plasmadichtheid te behouden en verontreiniging van de wafelzijden te voorkomen.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Siliciumcarbide coating

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

SIC gecoate wafer drager voor etsen

CVD SIC gecoate wafer susceptor

SIC gecoate planetaire susceptor

SIC gecoate afdichtring voor epitaxie

Enkele wafel Epi Graphite Undertaker

Plasma etsen focusring

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres