Siliciumcarbide coating

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

View as

Siliciumcarbide scherpstelring

Veteksemicon focusring is speciaal ontworpen voor veeleisende halfgeleideretsapparatuur, met name SiC-etstoepassingen. Gemonteerd rond de elektrostatische klem (ESC), dicht bij de wafer, heeft de primaire functie het optimaliseren van de elektromagnetische veldverdeling binnen de reactiekamer, waardoor een uniforme en gerichte plasmaactie over het gehele waferoppervlak wordt gegarandeerd. Een hoogwaardige focusring verbetert de uniformiteit van de etssnelheid aanzienlijk en vermindert randeffecten, waardoor de productopbrengst en productie-efficiëntie direct worden verhoogd.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Siliciumcarbide draagplaat voor LED-etsen

Veteksemicon siliciumcarbide draagplaat voor LED-etsen, speciaal ontworpen voor de productie van LED-chips, is een belangrijk verbruiksartikel in het etsproces. Het is gemaakt van nauwkeurig gesinterd, zeer zuiver siliciumcarbide en biedt uitzonderlijke chemische bestendigheid en maatvastheid bij hoge temperaturen, waardoor het effectief bestand is tegen corrosie door sterke zuren, basen en plasma. De lage contaminatie-eigenschappen zorgen voor hoge opbrengsten voor epitaxiale LED-wafels, terwijl de duurzaamheid, die veel groter is dan die van traditionele materialen, klanten helpt de totale bedrijfskosten te verlagen, waardoor het een betrouwbare keuze is voor het verbeteren van de efficiëntie en consistentie van het etsproces.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Massieve SiC focusring

De Veteksemi-massieve SiC-focusring verbetert de etsuniformiteit en processtabiliteit aanzienlijk door het elektrische veld en de luchtstroom aan de waferrand nauwkeurig te regelen. Het wordt veel gebruikt in precisie-etsprocessen voor silicium, diëlektrica en samengestelde halfgeleidermaterialen, en is een sleutelcomponent voor het garanderen van massaproductie en een betrouwbare werking van apparatuur op de lange termijn.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

CVD SIC gecoate grafiet douchekop

De CVD SIC gecoate grafietdouchekop van Veteksemicon is een krachtige component die speciaal is ontworpen voor halfgeleider chemische dampafzetting (CVD) processen. Vervaardigd uit hoogzuiver grafiet en beschermd met een chemische dampafzetting (CVD) siliciumcarbide (SIC) coating, deze douchekop levert uitstekende duurzaamheid, thermische stabiliteit en weerstand tegen corrosieve procesgassen. Ik kijk uit naar uw verdere consult.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Silicium carbide coating wafelhouder

De siliciumcarbide coating waferhouder van Veteksemicon is ontworpen voor precisie en prestaties in geavanceerde halfgeleiderprocessen zoals MOCVD, LPCVD en gloeien met hoge temperatuur. Met een uniforme CVD SIC-coating zorgt deze waferhouder voor uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, chemische inertie en mechanische sterkte-essentieel voor verontreinigingsvrije, hoogrentende wafersverwerking.

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Sic randring

Veteksemicon hoge zuivere SIC randringen, speciaal ontworpen voor halfgeleider-etsapparatuur, voorzien van uitstekende corrosieweerstand en thermische stabiliteit, waardoor de wafer aanzienlijk wordt verbeterd

Bekijk meer >> Stuur onderzoek >>

Als professional Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Siliciumcarbide coating gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
anny@veteksemi.com
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, provincie Zhejiang, China

Webmenu

product zoeken

Taal

Verlaat het menu

Siliciumcarbide coating

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

Siliciumcarbide scherpstelring

Siliciumcarbide draagplaat voor LED-etsen

Massieve SiC focusring

CVD SIC gecoate grafiet douchekop

Silicium carbide coating wafelhouder

Sic randring

Onderzoek verzenden

QR code

Over ons

Producten

Neem contact met ons op

Telefoon

Fax

E-mailen

Adres