MOCVD SiC-gecoate susceptor

Technische parameters

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

Productdefinitie en samenstelling

De VETEK MOCVD SiC gecoate susceptor is een premium waferdragende component die speciaal is ontworpen voor de epitaxiale verwerking van halfgeleiders van de derde generatie, zoals GaN en SiC. Dit product integreert de superieure fysieke eigenschappen van twee hoogwaardige materialen:

Hoogzuiver grafietsubstraat: Vervaardigd met behulp van isostatische perstechnologie om ervoor te zorgen dat het basismateriaal een uitzonderlijke structurele integriteit, hoge dichtheid en thermische verwerkingsstabiliteit bezit.

CVD SiC-coating: Een dichte, spanningsvrije beschermlaag van siliciumcarbide (SiC) wordt op het grafietoppervlak aangebracht door middel van geavanceerde Chemical Vapour Deposition (CVD) technologie.

Waarom VETEK uw rendementsgarantie is

Ultieme precisie in thermische uniformiteitscontrole: In tegenstelling tot conventionele dragers bereiken VETEK-susceptors een zeer gesynchroniseerde warmteoverdracht over het gehele oppervlak door nauwkeurige controle op nanometerschaal van de laagdikte en thermische weerstand. Dit geavanceerde thermische beheer minimaliseert effectief de golflengtestandaardafwijking (STD) op het waferoppervlak, waardoor zowel de kwaliteit van één wafer als de algehele batchconsistentie aanzienlijk wordt verbeterd.

Langdurige bescherming zonder deeltjesverontreiniging: In MOCVD-reactiekamers die zeer corrosieve gassen bevatten, zijn gewone grafietvoetstukken gevoelig voor deeltjesafschilfering. De CVD SiC-coating van VETEK bezit een uitzonderlijke chemische inertheid en fungeert als een ondoordringbaar schild dat grafietmicroporiën afdicht. Dit zorgt voor een totale isolatie van substraatonzuiverheden, waardoor elke verontreiniging van de epitaxiale GaN- of SiC-lagen wordt voorkomen.

Uitzonderlijke weerstand tegen vermoeidheid en levensduur:Dankzij het gepatenteerde interfacebehandelingsproces van VETEK bereikt onze SiC-coating een geoptimaliseerde thermische uitzettingsmatch met het grafietsubstraat. Zelfs onder hoogfrequente thermische cycli tussen extreme temperaturen behoudt de coating een superieure hechting zonder af te pellen of microscheurtjes te ontwikkelen. Dit vermindert de frequentie van het onderhoud van reserveonderdelen aanzienlijk en verlaagt uw totale eigendomskosten.

Onze werkplaats