Hoge zuiverheid sic cantilever peddel

Hoge zuiverheid SIC Cantilever -paddle is een sleutelcomponent dat wordt gebruikt in de verwerkingsapparatuur van halfgeleiders. Het product is gemaakt van hoog-zuiver siliciumcarbide (sic) materiaal.  Klanten kunnen vrijelijk gesinterd sic -materiaal of herkristal sic -materiaal kiezen. Met behulp van de uitstekende kenmerken van hoge zuiverheid, hoge thermische stabiliteit en corrosieweerstand, wordt het veel gebruikt in processen zoals waferoverdracht, ondersteuning en hoge-temperatuurverwerking, waardoor een betrouwbare garantie wordt geboden voor het waarborgen van procesnauwkeurigheid en productkwaliteit.

Hoge zuiverheid SIC Cantilever Paddle speelt de volgende specifieke rollen in het semiconductor -verwerkingsproces:

Wafeloverdracht: Hoge zuiverheid SIC Cantilever-paddle wordt meestal gebruikt als een waferoverdrachtsapparaat in diffusie of oxidatie-ovens op hoge temperatuur. De hoge hardheid maakt het slijtvast en niet gemakkelijk te vervormen tijdens langdurig gebruik, en kan ervoor zorgen dat de wafel nauwkeurig wordt geplaatst tijdens het overdrachtsproces. Gecombineerd met zijn hoge temperatuur en corrosieweerstand, kan het wafels veilig in en uit de ovenbuis overbrengen in omgevingen op hoge temperatuur zonder enige verontreiniging of schade aan de wafels te veroorzaken.

Wafer -ondersteuning: SIC -materiaal heeft een lage coëfficiënt van thermische expansie, wat betekent dat de grootte ervan minder verandert wanneer de temperatuur verandert, wat helpt bij het handhaven van precieze controle in het proces. In chemische dampafzetting (CVD) of fysische dampafzetting (PVD) processen wordt SIC Cantilever -paddle gebruikt om de wafer te ondersteunen en te repareren om ervoor te zorgen dat de wafel stabiel en plat blijft tijdens het afzettingsproces, waardoor de uniformiteit en kwaliteit van de film wordt verbeterd.

Toepassing van processen op hoge temperatuur: SIC Cantilever Paddle heeft een uitstekende thermische stabiliteit en kan de temperatuur van maximaal 1600 ° C weerstaan. Daarom wordt dit product op grote schaal gebruikt bij gloeiing van hoge temperatuur, oxidatie, diffusie en andere processen.

Basisfysische eigenschappen van hoge zuiverheid sic cantilever peddel:

Hoge zuiverheid sic cantilever peddelwinkels:

Overzicht van de Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: