QR code

Over ons
Producten
Neem contact met ons op
Telefoon
Fax
+86-579-87223657
E-mailen
Adres
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China
Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide is een belangrijke keramische component in plasma -etsapparatuur, massief siliciumcarbide (CVD Silicon Carbide) Onderdelen in de etsapparatuur omvattenFocus ringen, Gasdouchekop, lade, randringen, enz. Vanwege de lage reactiviteit en geleidbaarheid van vast siliciumcarbide (CVD siliciumcarbide) tot chloor - en fluor -bevattende etsengassen, is het een ideaal materiaal voor plasma -etsende apparatuur focusringen en andere componenten.
De focusring is bijvoorbeeld een belangrijk onderdeel dat buiten de wafer wordt geplaatst en in direct contact met de wafel, door een spanning op de ring aan te brengen om het plasma door de ring te concentreren, waardoor het plasma op de wafer wordt gericht om de uniformiteit van de verwerking te verbeteren. De traditionele focusring is gemaakt van silicium ofkwarts, Geleidend silicium als een gemeenschappelijk focusringmateriaal, het ligt bijna dicht bij de geleidbaarheid van siliciumwafels, maar het tekort is een slechte etsweerstand in fluor-bevattend plasma, etsenmachines die vaak worden gebruikt voor een periode van tijd, er zal een ernstig corrosiefenomenon zijn, de productie van de productie van de productie ernstig verminderen.
SOlid sic focusringWerkprincipe:
Vergelijking van SI -gebaseerde focusring en CVD SIC Focussing Ring :
Vergelijking van SI -gebaseerde focusring en CVD SIC Focussing Ring | ||
Item | En | CVD SIC |
Dichtheid (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
Band Gap (EV) | 1.12 | 2.3 |
Thermische geleidbaarheid (w/cm ℃ ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
Elastische modulus (GPA) | 150 | 440 |
Hardheid (GPA) | 11.4 | 24.5 |
Weerstand tegen slijtage en corrosie | Arm | Uitstekend |
Vetek Semiconductor biedt geavanceerde solid siliciumcarbide (CVD siliciumcarbide) onderdelen zoals SIC focusringen voor halfgeleiderapparatuur. Onze vaste siliciumcarbide-focusringen presteren beter dan het traditionele silicium in termen van mechanische sterkte, chemische resistentie, thermische geleidbaarheid, duurzaamheid met hoge temperatuur en ionenresistentie.
Hoge dichtheid voor verlaagde etsen.
Uitstekende isolatie met een hoge bandgap.
Hoge thermische geleidbaarheid en lage coëfficiënt van thermische expansie.
Superieure mechanische impactweerstand en elasticiteit.
Hoge hardheid, slijtvastheid en corrosieweerstand.
Vervaardigd met behulp vanPlasma-verbeterde chemische dampafzetting (PECVD)Technieken, onze SIC -focusringen voldoen aan de toenemende eisen van etsprocessen in de productie van halfgeleiders. Ze zijn ontworpen om hoger plasmakracht en energie te weerstaan, met name inCapacitief gekoppeld plasma (CCP)systemen.
De SIC -focusringen van Vetek Semiconductor bieden uitzonderlijke prestaties en betrouwbaarheid in de productie van halfgeleiderapparaten. Kies onze SIC -componenten voor superieure kwaliteit en efficiëntie.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, de provincie Zhejiang, China
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Alle rechten voorbehouden.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |