Producten

Solid siliciumcarbide

Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide is een belangrijke keramische component in plasma -etsapparatuur, massief siliciumcarbide (CVD Silicon Carbide) Onderdelen in de etsapparatuur omvattenFocus ringen, Gasdouchekop, lade, randringen, enz. Vanwege de lage reactiviteit en geleidbaarheid van vast siliciumcarbide (CVD siliciumcarbide) tot chloor - en fluor -bevattende etsengassen, is het een ideaal materiaal voor plasma -etsende apparatuur focusringen en andere componenten.


De focusring is bijvoorbeeld een belangrijk onderdeel dat buiten de wafer wordt geplaatst en in direct contact met de wafel, door een spanning op de ring aan te brengen om het plasma door de ring te concentreren, waardoor het plasma op de wafer wordt gericht om de uniformiteit van de verwerking te verbeteren. De traditionele focusring is gemaakt van silicium ofkwarts, Geleidend silicium als een gemeenschappelijk focusringmateriaal, het ligt bijna dicht bij de geleidbaarheid van siliciumwafels, maar het tekort is een slechte etsweerstand in fluor-bevattend plasma, etsenmachines die vaak worden gebruikt voor een periode van tijd, er zal een ernstig corrosiefenomenon zijn, de productie van de productie van de productie ernstig verminderen.


SOlid sic focusringWerkprincipe

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Vergelijking van SI -gebaseerde focusring en CVD SIC Focussing Ring :

Vergelijking van SI -gebaseerde focusring en CVD SIC Focussing Ring
Item En CVD SIC
Dichtheid (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Thermische geleidbaarheid (w/cm ℃ ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastische modulus (GPA) 150 440
Hardheid (GPA) 11.4 24.5
Weerstand tegen slijtage en corrosie Arm Uitstekend


Vetek Semiconductor biedt geavanceerde solid siliciumcarbide (CVD siliciumcarbide) onderdelen zoals SIC focusringen voor halfgeleiderapparatuur. Onze vaste siliciumcarbide-focusringen presteren beter dan het traditionele silicium in termen van mechanische sterkte, chemische resistentie, thermische geleidbaarheid, duurzaamheid met hoge temperatuur en ionenresistentie.


Belangrijke kenmerken van onze SIC -focusringen zijn onder meer:

Hoge dichtheid voor verlaagde etsen.

Uitstekende isolatie met een hoge bandgap.

Hoge thermische geleidbaarheid en lage coëfficiënt van thermische expansie.

Superieure mechanische impactweerstand en elasticiteit.

Hoge hardheid, slijtvastheid en corrosieweerstand.

Vervaardigd met behulp vanPlasma-verbeterde chemische dampafzetting (PECVD)Technieken, onze SIC -focusringen voldoen aan de toenemende eisen van etsprocessen in de productie van halfgeleiders. Ze zijn ontworpen om hoger plasmakracht en energie te weerstaan, met name inCapacitief gekoppeld plasma (CCP)systemen.

De SIC -focusringen van Vetek Semiconductor bieden uitzonderlijke prestaties en betrouwbaarheid in de productie van halfgeleiderapparaten. Kies onze SIC -componenten voor superieure kwaliteit en efficiëntie.


View as  
 
CVD SIC gecoate grafiet douchekop

CVD SIC gecoate grafiet douchekop

De CVD SIC gecoate grafietdouchekop van Veteksemicon is een krachtige component die speciaal is ontworpen voor halfgeleider chemische dampafzetting (CVD) processen. Vervaardigd uit hoogzuiver grafiet en beschermd met een chemische dampafzetting (CVD) siliciumcarbide (SIC) coating, deze douchekop levert uitstekende duurzaamheid, thermische stabiliteit en weerstand tegen corrosieve procesgassen. Ik kijk uit naar uw verdere consult.
Sic randring

Sic randring

Veteksemicon hoge zuivere SIC randringen, speciaal ontworpen voor halfgeleider-etsapparatuur, voorzien van uitstekende corrosieweerstand en thermische stabiliteit, waardoor de wafer aanzienlijk wordt verbeterd
Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof

Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof

Hoge zuiverheid CVD SIC -grondstof bereid door CVD is het beste bronmateriaal voor siliciumcarbide kristalgroei door fysiek damptransport. De dichtheid van CVD SIC-grondstof met hoge zuiverheid geleverd door Vetek halfgeleider is hoger dan die van kleine deeltjes gevormd door spontane verbranding van SI en C-bevattende gassen, en het vereist geen speciale sinters en heeft een bijna constante verdampingspercentage. Het kan extreem hoogwaardige SIC single -kristallen groeien. Ik kijk uit naar uw aanvraag.
Solid SIC Wafer Carrier

Solid SIC Wafer Carrier

Vetek Semiconductor's Solid SIC -waferdrager is ontworpen voor hoge temperatuur en corrosiebestendige omgevingen in halfgeleider -epitaxiale processen en is geschikt voor alle soorten wafersproductieprocessen met hoge zuiverheidsvereisten. Vetek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van wafers in China en kijkt ernaar uit om uw langdurige partner te worden in de halfgeleiderindustrie.
Solide SiC-schijfvormige douchekop

Solide SiC-schijfvormige douchekop

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant van halfgeleiderapparatuur in China en een professionele fabrikant en leverancier van vaste SIC-schijfvormige douchekop. Onze schijfvorm douchekop wordt veel gebruikt in de productie van dunne filmafzetting, zoals het CVD -proces om een ​​uniforme verdeling van reactiegas te garanderen en is een van de kerncomponenten van CVD -oven.
Sic afdichtingsgedeelte

Sic afdichtingsgedeelte

Als een geavanceerde SiC -afdichtingsproductfabrikant en fabriek in China. Vetek Semiconducto SIC-afdichtingsgedeelte is een hoogwaardige afdichtingscomponent die veel wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en andere extreme hoge temperatuur en hogedrukprocessen. Verwelkom uw verdere consult.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Als professional Solid siliciumcarbide fabrikant en leverancier in China, hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig hebt om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerd en duurzaam wilt kopen Solid siliciumcarbide gemaakt in China, u kunt ons een bericht achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept