Massieve SiC-ets focusring

Vetek Semiconductor heeft grote vooruitgang geboekt in CVD Solid SIC-technologie en is nu in staat om solide SIC-etsenring te produceren met wereldleidend niveau. Vetek Semiconductor's Solid SIC Etching Focussing Ring is een ultrahoge zuiverheid Siliciumcarbidemateriaalproduct gecreëerd door het proces van chemische dampafzetting.

Vaste SiC-etsfocusring wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in plasma-etssystemen. De SiC-focusring is een cruciaal onderdeel dat helpt bij het nauwkeurig en gecontroleerd etsen van siliciumcarbidewafels (SiC).

Tijdens het plasma-etsproces speelt de focusring meerdere rollen:

● Het plasma focusseren: De vaste SIC -ets focusring helpt het plasma rond de wafel vorm te geven en te concentreren, zodat het etsproces uniform en efficiënt optreedt. Het helpt het plasma te beperken tot het gewenste gebied, waardoor verdwaalde etsen of schade aan de omliggende regio's worden voorkomen.

●  Bescherming van de kamerwanden: De focusring fungeert als een barrière tussen het plasma en de kamerwanden, waardoor direct contact en potentiële schade worden voorkomen. SIC is zeer resistent tegen plasma -erosie en biedt uitstekende bescherming voor de kamerwanden.

●  TEmperature -controle: De sic focusring helpt bij het handhaven van een uniforme temperatuurverdeling over de wafer tijdens het etsproces. Het helpt de warmte af te voeren en voorkomt plaatselijke oververhitting of thermische gradiënten die de etsresultaten kunnen beïnvloeden.

Voor focusringen wordt gekozen voor massief SiC vanwege de uitstekende thermische en chemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte en weerstand tegen plasma-erosie. Deze eigenschappen maken SiC een geschikt materiaal voor de zware en veeleisende omstandigheden in plasma-etssystemen.

Het is vermeldenswaard dat het ontwerp en de specificaties van focusringen kunnen variëren, afhankelijk van het specifieke plasma-etssysteem en de procesvereisten. VeTek Semiconductor optimaliseert de vorm, afmetingen en oppervlaktekenmerken van focusringen om optimale etsprestaties en een lange levensduur te garanderen. Vast SiC wordt veel gebruikt voor waferdragers, susceptoren, dummywafels, geleidingsringen, onderdelen voor het etsproces, CVD-proces, enz.