Susceptor met SiC-coating voor LPE PE2061S

VeTek Semiconductor is een professionele Chinese SiC-gecoate vatsusceptor voorLPE PE2061'sFabrikant en leverancier.

De VeTeK Semiconductor SiC-gecoate vat susceptor voor LPE PE2061S is een hoogwaardig product dat is ontstaan ​​door het aanbrengen van een fijne laag siliciumcarbide op het oppervlak van zeer gezuiverd isotroop grafiet. Dit wordt bereikt via het eigen bedrijf van VeTeK SemiconductorChemische dampafzetting (CVD)proces.

Onze SiC-gecoate vatsusceptor voor LPE PE2061S is een soort CVD epitaxiale afzettingsvatreactor die is ontworpen om betrouwbare prestaties te leveren in extreme omgevingen. De uitzonderlijke hechting van de coating, de weerstand tegen oxidatie bij hoge temperaturen en de corrosiebestendigheid maken het een uitstekende keuze voor gebruik onder zware omstandigheden. Bovendien voorkomen het uniforme thermische profiel en het laminaire gasstroompatroon besmetting, waardoor epitaxiale groei van hoge kwaliteit wordt gegarandeerd.

Het tonvormige ontwerp van onze halfgeleiderepitaxiale reactorOptimaliseert laminaire gasstroompatronen en zorgt voor uniforme warmteverdeling. Dit helpt bij het voorkomen van besmetting of verspreiding van onzuiverheden,Zorgen voor hoogwaardige epitaxiale groei op wafelsubstraten.

Wij streven ernaar onze klanten hoogwaardige, kosteneffectieve producten te bieden. Onze CVD SiC-gecoate vatsusceptor biedt het voordeel van prijsconcurrentievermogen terwijl de uitstekende dichtheid voor beide behouden blijftgrafiet substraatEncoating van siliciumcarbide, die betrouwbare bescherming biedt in werkomgevingen met hoge temperaturen en corrosie.

SEM -gegevens van CVD SIC -filmkristalstructuur:

De met SiC beklede tonvormige susceptor voor monokristalgroei vertoont een zeer hoge oppervlaktegladheid.

Het minimaliseert het verschil in thermische expansiecoëfficiënt tussen het grafietsubstraat en

siliciumcarbidecoating, waardoor de hechtsterkte effectief wordt verbeterd en scheuren en delaminatie worden voorkomen.

Zowel het grafietsubstraat als de siliciumcarbidecoating hebben een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende thermische distributiemogelijkheden.

Het heeft een hoog smeltpunt, hoge temperatuuroxidatie weerstand, Encorrosiebestendigheid.