Douchekop van massief SiC-gas

Douchekop van massief SiC-gas

VeTek Semiconductor is een geïntegreerd bedrijf dat zich toelegt op onderzoek, productie en verkoop. VeTek Semiconductor werkt al vele jaren aan halfgeleider-epitaxie, etsen en andere procesgerelateerde producten, met name CVD SiC-coating, CVD TaC-coating en CVD Solid SiC zijn onze vlaggenschipproducten.

VeTek Semiconductor Solid SiC-gasdouchekoppen worden vaak gebruikt om precursorgassen gelijkmatig op het substraatoppervlak te verdelen tijdens halfgeleider-CVD-processen. Het gebruik van CVD-SiC materiaal voor douchekoppen biedt verschillende voordelen. De hoge thermische geleidbaarheid helpt de warmte af te voeren die wordt gegenereerd tijdens het CVD-proces, waardoor een uniforme temperatuurverdeling op het substraat wordt gegarandeerd. Bovendien zorgt de chemische stabiliteit van de CVD sic-douchekop ervoor dat hij bestand is tegen corrosieve gassen en zware omstandigheden die vaak voorkomen bij CVD-processen. 

Het ontwerp van CVD SIC -douchekoppen kan worden aangepast aan specifieke CVD -systemen en procesvereisten. Ze bestaan ​​echter meestal uit een plaat of schijfvormige component met een reeks precisie geboorde gaten of slots. Het gatpatroon en de geometrie zijn zorgvuldig ontworpen om een ​​uniforme gasverdeling en stroomsnelheid over het substraatoppervlak te garanderen.

Fysieke eigenschappen van solide SIC