Wat is TAC -coating? - Vetek halfgeleider

TAC -coating (Tantalum carbide coating) is een high-performance coatingmateriaal geproduceerd door chemische dampafzetting (CVD) proces. Vanwege de uitstekende eigenschappen van TAC -coating onder extreme omstandigheden, wordt het veel gebruikt in het productieproces van het halfgeleider, vooral in apparatuur en componenten die een hoge temperatuur en een sterke corrosieve omgeving vereisen. TAC -coating wordt meestal gebruikt om substraten (zoals grafiet of keramiek) te beschermen tegen schade door hoge temperatuur, corrosieve gassen en mechanische slijtage.

Fysieke eigenschappen van TAC -coating

Productfuncties en voordelen

● Extreem hoge thermische stabiliteit:

Feature Beschrijving: TAC -coating heeft een smeltpunt van meer dan 3880 ° C en kan de stabiliteit behouden zonder ontleding of vervorming in een extreem hoge temperatuuromgeving.

Voordeel: dit maakt het een onmisbaar materiaal in halfgeleiderapparatuur op hoge temperatuur zoals CVD TAC-coating en TAC-gecoate susceptor, vooral voor toepassingen in MOCVD-reactoren, zoals Aixtron G5-apparatuur.

● Uitstekende corrosieweerstand:

Feature Beschrijving: TAC heeft een extreem sterke chemische inertie en kan de erosie van corrosieve gassen zoals chloriden en fluoriden effectief weerstaan.

Voordelen: in halfgeleiderprocessen met sterk corrosieve chemicaliën, beschermt TAC -coating apparatuurcomponenten tegen chemische aanval, verlengt de levensduur van de services en verbetert de processtabiliteit, vooral bij de toepassing van siliciumcarbide wafelboot en andere belangrijke componenten.

● Uitstekende mechanische hardheid:

Feature Beschrijving: De hardheid van TAC-coating is zo hoog als 9-10 MOHS, waardoor het bestand is tegen mechanische slijtage en spanning op hoge temperatuur.

Voordeel: de eigenschap met hoge hardheid maakt TAC-coating bijzonder geschikt voor gebruik in hoge slijtage en hoge stressomgevingen, waardoor de stabiliteit op de lange termijn en de betrouwbaarheid van apparatuur onder barre omstandigheden wordt gewaarborgd.

● Lage chemische reactiviteit:

Feature Beschrijving: Vanwege de chemische inertigheid kan TAC -coating een lage reactiviteit in omgevingen met hoge temperatuur behouden en onnodige chemische reacties met reactieve gassen voorkomen.

Voordeel: dit is vooral belangrijk in het productieproces van het halfgeleider omdat het zorgt voor de zuiverheid van de procesomgeving en hoogwaardige afzetting van materialen.

De rol van TAC -coating bij de verwerking van halfgeleiders

● Componenten van belangrijke apparatuur beschermen:

Functiebeschrijving: TAC -coating wordt veel gebruikt in belangrijke componenten van de productieapparatuur van halfgeleiders, zoals TAC -gecoate susceptor, die onder extreme omstandigheden moeten werken. Door te coaten met TAC, kunnen deze componenten gedurende lange tijd werken in hoge temperatuur en corrosieve gasomgevingen zonder te worden beschadigd.

● Verleng de levensduur van de apparatuur:

Functiebeschrijving: In MOCVD -apparatuur zoals Aixtron G5 kan TAC -coating de duurzaamheid van apparatuurcomponenten aanzienlijk verbeteren en de behoefte aan onderhoud en vervanging van apparatuur verminderen als gevolg van corrosie en slijtage.

● Verbeter de processtabiliteit:

Functiebeschrijving: In de productie van halfgeleiders zorgt TAC -coating voor de uniformiteit en consistentie van het afzettingsproces door een stabiele hoge temperatuur en chemische omgeving te bieden. Dit is vooral belangrijk in epitaxiale groeiprocessen zoals siliciumepitaxie en galliumnitride (GAN).

● Verbeter de procesefficiëntie:

Functiebeschrijving: Door de coating op het oppervlak van de apparatuur te optimaliseren, kan TAC -coating de algehele efficiëntie van het proces verbeteren, de defectsnelheid verminderen en de productopbrengst verhogen. Dit is van cruciaal belang voor de vervaardiging van zeer nauwkeurige halfgeleidermaterialen met een hoge zuivere.

De hoge thermische stabiliteit, uitstekende corrosieweerstand, mechanische hardheid en lage chemische reactiviteit die wordt getoond door TAC -coating tijdens halfgeleiderverwerking maakt het een ideale keuze voor het beschermen van de componenten van de semiconductorproductieapparatuur. Aangezien de vraag van de halfgeleiderindustrie naar hoge temperatuur, hoge zuiverheid en efficiënte productieprocessen blijft toenemen, heeft TAC -coating brede toepassingsperspectieven, vooral in apparatuur en processen met CVD TAC -coating, TAC -gecoate susceptor en Aixtron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd is een toonaangevende leverancier van geavanceerde coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons bedrijf richt zich op het ontwikkelen van geavanceerde oplossingen voor de industrie.

Ons belangrijkste productaanbod omvatCVD Silicon Carbide (SIC) coatings, tantalum carbide (TAC) coatings, Bulk SIC, SIC-poeders en hoge zuivere SIC-materialen, SIC gecoate grafiet Susceptor, voorverwarmingsringen, TAC-gecoate omleidingring, halfmoononderdelen, enz., De zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan voldoen aan de eisen van de klant.

Vetek Semiconductor richt zich op het ontwikkelen van geavanceerde technologie en oplossingen voor productontwikkeling voor de halfgeleiderindustrie.We hopen oprecht uw langdurige partner in China te worden.