TAC -coating reserveonderdeel

Het halfgeleiderTAC -coatingplaatis een speciaal materiaal dat veel wordt gebruikt in dehalfgeleiderproductieproces. Gecombineerd met zijn hoge hardheid en slijtvastheid, hoge temperatuurweerstand, corrosieweerstand, lage wrijvingscoëfficiënt en goede thermische geleidbaarheid, speelt de TAC -coatingplaat een onvervangbare rol in vele koppelingen van halfgeleiderverwerking.

Over het algemeen de toepassingen vanTAC -gecoate platenIn halfgeleider worden verwerking als volgt:

● CVD/ALD -groeimidstraat: De weerstand van de hoge temperatuur, chemische stabiliteit en lage wrijvingscoëfficiënt van TAC -gecoate platen maken ze ideale CVD/ALD -groeimidraten. Het kan een stabiele groeiomgeving bieden om de uniformiteit en dichtheid van de film te waarborgen.

●  Etsen maskerplaat: De hoge hardheid en corrosieweerstand van TAC-gecoate platen stelt hen in staat om hoge energieprocessen zoals plasma-ets te weerstaan, als etsenmaskerplaten, die de onderliggende film beschermen.

●  CMP polijstkussen: De slijtvastheid en lage wrijvingscoëfficiënt van TAC -gecoate platen maken ze ideale materialen voor CMP -polijstkussens, die deeltjes en defecten op het oppervlak van de film effectief kunnen verwijderen.

●  Hoge temperatuur ovenbuis: De weerstand van de hoge temperatuur en de corrosieweerstand van TAC -gecoate platen kan ze worden gebruikt als ovenbuizen in ovens op hoge temperatuur voor gloeien met hoge temperatuur, diffusie en andere processen.

CVD TAC Coating Technische parameters：

Vetek Semiconductor TAC Coating Reserve Part Producten Winkels：