Aixtron MOCVD Supportor

De Susceptors geproduceerd doorHet halfgeleiderzijn gemaakt van grafietsubstraat en siliciumcarbide (SiC) coatingmateriaal. Gezien de hogere slijtvastheid, corrosiebestendigheid en extreem hoge hardheid van SiC-materiaal is het bijzonder geschikt voor gebruik in zware procesomgevingen. Daarom kunnen de Susceptors geproduceerd door Vetek Semiconductor direct worden gebruikt in MOCVD-processen bij hoge temperaturen zonder aanvullende oppervlaktebehandeling.

Susceptors zijn sleutelcomponenten bij de productie van halfgeleiders, vooral in MOCVD-apparatuur voor dunne-filmafzettingsprocessen. De hoofdrol vanAixtron: Dus de ondersteuningin het MOCVD-proces is het vervoeren van halfgeleiderwafels, het garanderen van een uniforme en hoogwaardige afzetting van dunne films door een uniforme warmteverdeling en reactieomgeving te bieden, waardoor een hoogwaardige productie van dunne films wordt bereikt.

Aixtron MOCVD-receptorwordt meestal gebruikt om de basis van halfgeleiderwafels te ondersteunen en te bevestigen om de stabiliteit van de wafel tijdens het afzettingsproces te garanderen. Tegelijkertijd is de oppervlaktecoating van de Aixtron MOCVD Susceptor gemaakt van siliciumcarbide (SiC), een zeer thermisch geleidend materiaal. De SiC-coating zorgt voor een uniforme temperatuur op het oppervlak van de wafer, en uniforme verwarming is essentieel voor het verkrijgen van films van hoge kwaliteit.

Bovendien, deAixtron MOCVD-receptordie we produceren speelt een grotere rol bij het beheersen van de stroom en distributie van reactieve gassen door het geoptimaliseerde ontwerp van materialen. Vermijd wervelstromen en temperatuurgradiënten om een ​​uniforme filmafzetting te bereiken.

Belangrijker nog is dat bij het MOCVD-proces het siliciumcarbide (SiC) coatingmateriaal corrosiebestendig isHet halfgeleider'SAixtron MOCVD-receptorKan ook hoge temperaturen en corrosieve gassen weerstaan.

Basisfysische eigenschappen vanSIC-COATING:

VeTek Semiconductor Wafer Boat-winkels:

Overzicht van de Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: