Hoeveel weet u over CVD SIC? - Vetek halfgeleider

CVDSIC(Chemische dampafzetting siliciumcarbide) is een siliciumcarbidemateriaal met veel zuivere silicium vervaardigd door chemische dampafzetting. Het wordt voornamelijk gebruikt voor verschillende componenten en coatings in halfgeleiderverwerkingsapparatuur. CVDSic materiaalheeft een uitstekende thermische stabiliteit, hoge hardheid, lage thermische expansiecoëfficiënt en uitstekende chemische corrosieweerstand, waardoor het een ideaal materiaal is voor gebruik onder extreme procesomstandigheden.

CVDSIC -materiaal wordt veel gebruikt in componenten met een hoge temperatuur, een zeer corrosieve omgeving en hoge mechanische stress in het productieproces van halfgeleiders.

CVDSICComponentenvoornamelijk inclusief de volgende producten

● CVDSIC -coating

Het wordt gebruikt als een beschermende laag voor de verwerkingsapparatuur van halfgeleiders om te voorkomen dat het substraat wordt beschadigd door hoge temperatuur, chemische corrosie en mechanische slijtage.

● Sic wafer boot

Het wordt gebruikt om wafels te dragen en te transporteren in processen op hoge temperatuur (zoals diffusie en epitaxiale groei) om de stabiliteit van wafels en de uniformiteit van processen te waarborgen.

● SIC -procesbuis

SIC -procesbuizen worden voornamelijk gebruikt in diffusiegeonderen en oxidatieovens om een ​​gecontroleerde reactieomgeving te bieden voor siliciumwafels, waardoor precieze materiaalafzetting en uniforme dopingverdeling zorgen.

● Sic cantilever peddel

SIC Cantilever Paddle wordt voornamelijk gebruikt om siliciumwafels in diffusiegeonderen en oxidatoren te dragen of te ondersteunen, een lagerrol spelen. Vooral in processen op hoge temperatuur zoals diffusie, oxidatie, gloeien, enz., Zorgt het voor de stabiliteit en uniforme behandeling van siliciumwafels in extreme omgevingen.

● CVDsic douchekop

Het wordt gebruikt als een gasverdelingscomponent in plasma -etsapparatuur, met uitstekende corrosieweerstand en thermische stabiliteit om een ​​uniforme gasverdeling en etseneffect te garanderen.

● Sic gecoat plafond

Componenten in de reactiekamer van de apparatuur, gebruikt om de apparatuur te beschermen tegen schade door hoge temperatuur en corrosieve gassen, en de levensduur van de apparatuur verlengen.

● Silicium epitaxy susceptors

Wafeldragers die worden gebruikt in silicium epitaxiale groeiprocessen om uniforme verwarming en afzettingskwaliteit van wafels te garanderen.

Chemische dampafgezette siliciumcarbide (CVD SIC) heeft een breed scala aan toepassingen in halfgeleiderverwerking, voornamelijk gebruikt om apparaten en componenten te produceren die resistent zijn tegen hoge temperaturen, corrosie en hoge hardheid. 

CVDSICDe kernrol wordt weerspiegeld in de volgende aspecten

✔ beschermende coatings in omgevingen op hoge temperatuur

Functie: CVD SiC wordt vaak gebruikt voor oppervlakte -coatings van belangrijke componenten in halfgeleiderapparatuur (zoals suceptors, reactiekamer voeringen, enz.). Deze componenten moeten werken in omgevingen op hoge temperatuur en CVD SIC-coatings kunnen een uitstekende thermische stabiliteit bieden om het substraat te beschermen tegen schade aan hoge temperatuur.

Voordelen: Het hoge smeltpunt en de uitstekende thermische geleidbaarheid van CVD SiC zorgen ervoor dat de componenten lang kunnen werken onder hoge temperatuuromstandigheden, waardoor de levensduur van de apparatuur wordt verlengd.

✔ Anti-corrosie-toepassingen

Functie: In het productieproces van het halfgeleider kan CVD SIC -coating effectief de erosie van corrosieve gassen en chemicaliën weerstaan ​​en de integriteit van apparatuur en apparaten beschermen. Dit is vooral belangrijk voor het hanteren van zeer corrosieve gassen zoals fluoriden en chloriden.

Voordelen: Door CVD SIC -coating op het oppervlak van de component af te zetten, kunnen de schade en onderhoudskosten van apparatuur veroorzaakt door corrosie sterk worden verlaagd en kan de productie -efficiëntie worden verbeterd.

✔ Hoge sterkte en slijtvaste toepassingen

Functie: CVD SIC -materiaal staat bekend om zijn hoge hardheid en hoge mechanische sterkte. Het wordt veel gebruikt in halfgeleidercomponenten die slijtvastheid en hoge precisie vereisen, zoals mechanische afdichtingen, belastingdragende componenten, enz. Deze componenten worden onderworpen aan sterke mechanische stress en wrijving tijdens het bedrijf. CVD SIC kan deze spanningen effectief weerstaan ​​en zorgen voor de lange levensduur en stabiele prestaties van het apparaat.

Voordelen: Componenten gemaakt van CVD SIC kunnen niet alleen mechanische stress in extreme omgevingen weerstaan, maar ook hun dimensionale stabiliteit en oppervlakteafwerking behouden na langdurig gebruik.

Tegelijkertijd speelt CVD SIC een cruciale rol inLeidde epitaxiale groei, Power Semiconductors en andere velden. In het productieproces van het halfgeleider worden CVD SIC -substraten meestal gebruikt alsEPI -susceptors. Hun uitstekende thermische geleidbaarheid en chemische stabiliteit zorgen ervoor dat de volwassen epitaxiale lagen een hogere kwaliteit en consistentie hebben. Bovendien wordt CVD SIC ook veel gebruikt inPSS ETCH VOORBEHOUDEN, RTP -wafeldragers, ICP etsende dragers, etc., het bieden van stabiele en betrouwbare ondersteuning tijdens het etsen van halfgeleiders om apparaatprestaties te garanderen.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd is een toonaangevende leverancier van geavanceerde coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons bedrijf richt zich op ontwikkelingsoplossingen voor de industrie.

Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD Silicon Carbide (SIC) coatings, tantalum carbide (TAC) coatings, bulk SIC, sic poeders en hoge zuiverheidssic materialen, sic gecoate grafiet susceptor, voorverwarming, TAC gecoate diversion ring, halfmoon, snijgedeelten etc., de zuiverheid is onder 5pm, snijdt ringen kan voldoen aan de klantbehoeften.

Vetek Semiconductor richt zich op het ontwikkelen van geavanceerde technologie en oplossingen voor productontwikkeling voor de halfgeleiderindustrie.We hopen oprecht uw langdurige partner in China te worden.