SIC gecoate afdichtring voor epitaxie

Ⅰ. Wat is SIC gecoate zegelring?

SiC gecoate afdichtingsring (siliciumcarbide gecoate afdichtingsring) is een precisieafdichtingscomponent ontworpen voor hoge temperatuur, sterk corrosieve halfgeleiderprocesomgevingen. De kern is door de chemische dampafzetting (CVD) of fysische dampafzetting (PVD) proces, grafiet- of koolstofcomposietmateriaalsubstraatoppervlak gelijkmatig bedekt met een laag hoge zuivere siliciumcarbide (SIC) coating, de vorming van zowel de mechanische sterkte van het substraat als de coating van hoge prestatievermogende eigenschappen.  

Ⅱ. Productsamenstelling en kerntechnologie  

1. Substraatmateriaal:

Grafiet of koolstofarbon composietmateriaal: Het basismateriaal heeft het voordeel van hoge hittebestendigheid (kan meer dan 2000 ℃) en lage thermische expansiecoëfficiënt weerstaan, waardoor dimensionale stabiliteit wordt gewaarborgd onder extreme omstandigheden zoals hoge temperatuur.  

Precisiebewerkingsstructuur: Het ontwerp van de precisiering kan perfect worden aangepast aan de holte van halfgeleiderapparatuur, waardoor de vlakheid van het afdichtoppervlak en een goede luchtdichtheid wordt gewaarborgd.  

2. Functionele coating:  

Hoge zuiverheid SIC -coating (zuiverheid ≥99,99%): De dikte van coaing is meestal 10-50 μm, via het CVD-proces om een ​​laag dichte niet-poreuze oppervlaktestructuur te vormen, waardoor het afdichtingsringoppervlak uitstekende chemische inertigheid en mechanische eigenschappen krijgt.

Ⅲ. Kernfysische eigenschappen en voordelen van SIC gecoate afdichtring voor epitaxie

De SIC-gecoate afdichtringen van Veteksemicon zijn ideaal voor semiconductor-epitaxie-processen vanwege hun uitstekende prestaties onder extreme omstandigheden. Hieronder staan ​​de specifieke fysieke eigenschappen van het product:

IV. Kerntoepassingen in semiconductor epitaxy -verwerking  

SIC gecoate afdichtring voor epitaxie wordt voornamelijk gebruikt in MOCVD (metaal organische chemische dampafzetting) en MBE (moleculaire bundelpitaxie) en andere procesapparatuur, specifieke functies omvatten:  

1. Bescherming van halfgeleiderapparatuur Reactiekamer luchtdichtheid

Onze SIC-gecoate afdichtringen zorgen ervoor dat de dimensionale toleranties (meestal binnen ± 0,01 mm) van het interface met de apparatuurkamer (bijv. Flens, basisas) zo klein mogelijk zijn door de ringstructuur aan te passen. 

Tegelijkertijd is de afdichtring precisie bewerkt met behulp van CNC -machinegereedschap om te zorgen voor een uniforme pasvorm rond de gehele omtrek van het contactoppervlak, waardoor microscopische gaten worden geëlimineerd. Dit voorkomt effectief de lekkage van procesgassen (bijv. H₂, NH₃), zorgt voor de zuiverheid van de groeiomgeving van de epitaxiale laag en verbetert de wafelopbrengst.  

Aan de andere kant kan een goede gasdichtheid ook de inbraak van externe verontreinigende stoffen (O₂, H₂o) blokkeren, waardoor defecten in de epitaxiale laag effectief worden vermeden (zoals dislocaties, ongelijke doping van onzuiverheden).  

2. Dynamische afdichtingsondersteuning op hoge temperatuur  

Het aannemen van het principe van substraat-coating synergetische anti-deformatie: vanwege de lage thermische expansiecoëfficiënt van het grafiet-substraat is de expansie van de thermische expansie (CTE ≈ 4,5 × 10- ° C) zeer klein, en bij extreme hoge temperaturen (＞ 1000 ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ niet bevindt dan ook, is de expansie. Gecombineerd met de ultrahoge hardheid van de SIC-coating (HV2500 of meer), kan het krassen op het afdichtoppervlak effectief weerstaan ​​dat wordt veroorzaakt door mechanische trillingen of impact van deeltjes en de microscopische vlakheid behouden.

V. Onderhoudsaanbevelingen

1. Controleer de slijtage van de afdichtingsoppervlak op regelmatig (driemaandelijkse optische microscoopinspectie wordt aanbevolen) om plotseling falen te voorkomen.  

2. Gebruiken speciale reinigingsmiddelen (zoals watervrij ethanol) om afzettingen te verwijderen, verbieden mechanische slijpen om schade aan de SIC -coating te voorkomen.