Wat is de specifieke toepassing van TAC -gecoate onderdelen in het halfgeleidingsveld?

Fysieke eigenschappen van tantalum carbide (TAC) coating

De toepassing van tantalum carbide (TAC) coating in het halfgeleidingsveld

1. Epitaxiale groeiereactorcomponenten

TAC -coating wordt veel gebruikt in chemische dampafzetting (CVD) reactorcomponenten van galliumnitride (GAN) epitaxiaal en siliciumcarbide (SIC) epitaxiaal, inclusiefWafeldragers, satellietgerechten, sproeiers en sensoren. Deze componenten vereisen een extreem hoge duurzaamheid en stabiliteit in hoge temperatuur en corrosieve omgevingen. TAC -coating kan hun levensduur effectief verlengen en de opbrengst verbeteren.

2. Component met enkele kristalgroei

In het single crystal groeiproces van materialen zoals SiC, GAN en aluminiumnitride (AIN),TAC -coatingwordt toegepast op belangrijke componenten zoals smeltkroes, zaadkristalhouders, ringen en filters. Grafietmaterialen met TAC -coating kunnen de migratie van onzuiverheid verminderen, de kristalkwaliteit verbeteren en de defectdichtheid verminderen.

3. Industriële componenten op hoge temperatuur

TAC -coating kan worden gebruikt in industriële toepassingen op hoge temperatuur, zoals resistieve verwarmingselementen, injectiepunten, afschermingsringen en opwekkende armaturen. Deze componenten moeten goede prestaties behouden in omgevingen op hoge temperaturen, en de hittebestendigheid en de corrosieweerstand van TAC maken het een ideale keuze.

4. Verwarmers in MOCVD -systemen

TAC-gecoate grafietverwarmers zijn met succes geïntroduceerd in metalen organische chemische dampafzetting (MOCVD) -systemen. In vergelijking met traditionele door PBN gecoate kachels, kunnen TAC-kachels een betere efficiëntie en uniformiteit bieden, het stroomverbruik verminderen en de oppervlakte-emissiviteit verminderen, waardoor de integriteit wordt verbeterd.

5. Wafeldragers

TAC-gecoate waferdragers spelen een belangrijke rol bij de bereiding van halfgeleidermaterialen van de derde generatie zoals SIC, AIN en GAN. Studies hebben aangetoond dat de corrosiesnelheid vanTAC -coatingsin ammoniak en waterstofomgevingen op hoge temperatuur is veel lager dan die vanSic coatings, waardoor het een betere stabiliteit en duurzaamheid vertoont bij langdurig gebruik.