Hoe verbetert TAC -coating de levensduur van grafietcomponenten? - Vetek halfgeleider

CVD tantalum carbide coatingwordt geproduceerd door het opdampen van tantaalcarbide (TaC) op het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat met behulp van het eigen Chemical Vapour Deposition (CVD) proces van VeTek Semiconductor.

Tantaalcarbide (TaC) coatings verbeteren de levensduur aanzienlijkgrafietonderdelenDoor meerdere mechanismen, vooral in hoge temperatuur, zeer corrosieve omgevingen zoals de productie van halfgeleiders en kristalgroei. 

Hier zijn de specifieke redenen waaromTAC -coatingsVerbeter de duurzaamheid van grafietonderdelen:

●  Verbeterde weerstand tegen hoge temperaturen

Extreem hoge thermische stabiliteit: TaC-coatings kunnen stabiel blijven bij extreem hoge temperaturen boven de 2000 °C en kunnen zelfs effectief werken bij 2200 °C. Door deze hoge temperatuurtolerantie is de coating bestand tegen de erosie van gesmolten metalen en chemische gassen tijdens de productie van halfgeleiders, waardoor de levensduur van grafietonderdelen wordt verlengd.

●  Uitstekende corrosieweerstand

Chemische erosiebestendigheid: TAC -coatings hebben een sterke weerstand tegen corrosieve gassen zoals waterstof, ammoniak en siliciumdamp, die effectief kunnen voorkomen dat deze gassen het grafietsubstraat corroderen en het risico op schade aan grafietonderdelen in harde omgevingen verminderen. Dit betekent dat de coating tijdens het kristalgroeiproces de migratie van onzuiverheid kan remmen en de kristalkwaliteit en -opbrengst kan verbeteren.

● Verbeterde mechanische eigenschappen

Goede hechting en thermische schokweerstand: TAC-coatings hebben een sterke hechting aan het grafietsubstraat, zodat de coating niet zal pellen of delamineren tijdens high-temperatuurbewerkingen. Bovendien kan de uitstekende thermische schokweerstand bestand zijn tegen snelle temperatuurveranderingen zonder barsten of af te pellen, waardoor de levensduur van grafietonderdelen verder wordt verlengd.

●  Verminder de verontreiniging door onzuiverheden

Ultrahoge zuiverheid: TaC-coatings hebben een extreem laag gehalte aan onzuiverheden, waardoor contaminatieproblemen die kunnen optreden bij hoge temperaturen worden verminderd. Door te voorkomen dat ongewenste onzuiverheden naar de epitaxiale laag migreren, verbeteren TaC-coatings de zuiverheid en kwaliteit van het kristalgroeiproces aanzienlijk.

● Optimaliseer thermisch beheer

Verbetering van de thermische geleidbaarheid en weerstand: TaC-coatings hebben een relatief lage thermische geleidbaarheid en weerstand, waardoor de toepassing ervan in verwarmingstoestellen en andere componenten voor thermisch beheer mogelijk is om de energie-efficiëntie te verbeteren en energieverlies te verminderen. Deze functie verbetert niet alleen de bedrijfsefficiëntie, maar vermindert ook materiaalmoeheid en schade veroorzaakt door oververhitting.