CVD SiC-coating Grafietonderdelenreinigingsservice

1. Uitdagingen waarmee u te maken kunt krijgen

• AlN-laag moeilijk te verwijderen:Thermisch reinigen bij 1300°C kan de resterende AlN-laag nog steeds niet effectief etsen.

• Terugkerend geheugeneffect:Het oppervlaktegeheugeneffect veroorzaakt een onstabiele gasstroom in de reactor, wat de consistentie van het proces beïnvloedt.

• Reinigingscyclus Impacts-doorvoer:Normaal gesproken is voor elke 16 procescycli (4–5 susceptoren) een externe reiniging nodig.

• Bezorgdheid over het beschadigen van dure coatings:Het gebrek aan interne ervaring met chemische reiniging zorgt ervoor dat operators aarzelen om agressieve reiniging uit te voeren.

2. Onze oplossing – Ontworpen voor GaN-/AlN-/AlGaN-processen

• Professionele reiniging:Op maat gemaakt proces speciaal ontwikkeld voor CVD SiC-gecoate grafietonderdelen. Geen chemische formule vereist van de klant.

• Coatingveiligheid:Beschermt strikt de 100 µm CVD SiC-coating. Absoluut nul dikteverlies na reiniging.

• Verifieerbare resultaten:Volledig analysecertificaat (COA) dat vijf kerndimensies omvat. Gegevens klaar voor archief en kwaliteitsaudit.

3. Vijf kernacceptatiecriteria

Strikt afgestemd op de kritische eisen van gebruikers van halfgeleider-epitaxie:

1. Geen coatingverlies– De dikte van de SiC-coating wordt na het reinigen nooit verminderd (verificatie van de diktevergelijking vóór/na).

2. Geen oppervlaktevervorming– Vlakheid en geometrische nauwkeurigheid worden strikt geïnspecteerd om fysieke vervorming te voorkomen.

3. Elimineer het geheugeneffect– XPS-analyse voor Al/Ga-resten bevestigt een grondige verwijdering van bronnen van geheugeneffecten.

4. Geen metaalresidu– ICP-MS-testen voor Fe, Cu, Ni en andere metalen verifiëren dat er geen resterende metaalverontreinigingen aanwezig zijn.

5. Geen overtollige deeltjes– QIII-deeltjestest plus zuiverheidsverificatie voorkomen instabiliteit van de gasstroom veroorzaakt door achtergebleven deeltjes.

4. Afleveringsinspectie & COA-rapport

Elke batch wordt geleverd met volledige verificatiegegevens over vijf kerndimensies:

5. Toepasselijke producten en procesachtergrond

Productparameters

Serviceproces

1. Onderzoek– Stuur onderdeelfoto's / model / aantal ter evaluatie.

2. Offerte– Technische evaluatie en gedetailleerd schoonmaakvoorstel met offerte.

3. Verzending– Stuur onderdelen naar ons of regel een ophaalservice.

4. Reiniging– Professionele reiniging + volledige multidimensionale inspectie.

5. Rapporteer– COA-rapport afgegeven en gereinigde onderdelen geretourneerd.

6. Vervolg– Effecttracking en voortdurende technische ondersteuning.

6. Waarom kiezen voor VETEK-schoonmaakservice?

VETEK combineert diepgaande expertise in CVD SiC-coatingtechnologie met gespecialiseerde reinigingsmogelijkheden voor hoogwaardige grafiet susceptors. We begrijpen het cruciale belang van coatingintegriteit, deeltjescontrole en proceszuiverheid bij GaN/AlN-epitaxie. Onze service is ontworpen voor klanten die absolute veiligheid nodig hebben voor dure CVD SiC-coatings, terwijl problemen met geheugeneffecten en instabiliteit van de gasstroom volledig worden opgelost.

· Proefreiniging beschikbaar voor verificatie van kleine batches

· Volledig COA-rapport bij elke levering

· Geen risico op beschadiging van de coating of nieuwe vervuiling

· Professioneel · Veilig · Aantoonbaar