TAC Coating voetstukondersteuningsplaat

Vetek Semiconductor is China -fabrikant en leverancier die voornamelijk CVD TAC Coating Susceptors, Inlet Ring, Wafer Chunck, TAC -gecoate houder, TAC Coating Setestal Support Plate produceert met vele jaren ervaring. Ik hoop een zakelijke relatie met u op te bouwen.

TAC -keramiek heeft een smeltpunt van maximaal 3880 ℃, hoge hardheid (Mohs Hardheid 9 ~ 10), grote thermische geleidbaarheid (22W · m m^-1· K⁻¹), grote buigsterkte (340 ~ 400mpa) en kleine thermische expansiecoëfficiënt (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹), en vertoont uitstekende thermochemische stabiliteit en uitstekende fysieke eigenschappen. Het heeft een goede chemische en mechanische compatibiliteit met grafiet- en C/C -composietmaterialen, dus TAC -coating wordt veel gebruikt in thermische bescherming van ruimtevaart, enkele kristalgroei en epitaxiale reactoren zoals Aixtron, LPE EPI -reactor in de semiconductor -industrie. 

TaC coated graphite has better chemical corrosion resistance than bare stone ink or SiC coated graphite, can be used stably at 2200° high temperature, does not react with many metal elements, is the third generation of semiconductor single crystal growth, epitaxy and wafer etching scene of the best performance coating, can significantly improve the process of temperature and impurity control, Preparation of high quality silicon carbide wafers and related Epitaxiale wafels. Het is vooral geschikt voor het kweken van GaN- of ALN -kristal in MOCVD -apparatuur en SIC -enkel kristal in PVT -apparatuur, en de kwaliteit van het geteelde kristal is duidelijk verbeterd.