Wat is tantalum carbide tac -coating? - Veteksemicon

Wat is tantalum carbide (TAC)?

Tantalum carbide (TAC) keramisch materiaal heeft een smeltpunt van maximaal 3880 ℃ en is een verbinding met een hoog smeltpunt en een goede chemische stabiliteit. Het kan stabiele prestaties in omgevingen op hoge temperatuur behouden. Bovendien heeft het ook een hoge temperatuurweerstand, chemische corrosieweerstand en goede chemische en mechanische compatibiliteit met koolstofmaterialen, waardoor het een ideaal grafiet -substraat beschermend coatingmateriaal is. 

Tantalum carbide coatingkunnen grafietcomponenten effectief beschermen tegen de effecten van hete ammoniak, waterstof, siliciumdamp en gesmolten metaal in hard gebruiksomgevingen, waardoor de levensduur van grafietcomponenten aanzienlijk wordt verlengd en de migratie van onzuiverheden in grafiet wordt onderdrukepitaxiaalEnkristalgroei.

Figuur 1. Gemeenschappelijke tantalum carbide gecoate componenten

Bereiding van TAC -coating door CVD -proces

Chemische dampafzetting (CVD) is de meest volwassen en optimale methode voor het produceren van TAC -coatings op grafietoppervlakken.

Met behulp van TACL5 en propyleen als koolstof- en tantalum-bronnen, en argon als het dragergas, wordt de verdampte TACL5-damp met hoge temperatuur in de reactiekamer geïntroduceerd. Bij de doeltemperatuur en druk adsorbeert het voorlopermateriaal damp op het oppervlak van grafiet, ondergaan een reeks complexe chemische reacties zoals ontleding en combinatie van koolstof- en tantalumbronnen, evenals een reeks oppervlakte-reacties zoals diffusie en desorptie van by-products van de voorloper. Ten slotte wordt een dichte beschermende laag gevormd op het oppervlak van het grafiet, dat het grafiet beschermt tegen een stabiel bestaan ​​onder extreme omgevingscondities en de toepassingsscenario's van grafietmaterialen aanzienlijk uitbreidt.

Figuur 2.Chemische dampafzetting (CVD) procesprincipe

Raadpleeg het artikel voor meer informatie over de principes en het proces van het voorbereiden van CVD TAC -coating:Hoe CVD TAC -coating voor te bereiden?

Waarom kiezen voor Veteksemicon?

HalfrondBiedt voornamelijk tantalum carbide -producten: TAC -geleiderring, TAC -gecoate drie bloemblaadjes,TAC Coating Crucible, TAC -coatingporeus grafiet wordt veel gebruikt, is SIC Crystal Growth Proces; Poreus grafiet met TAC -gecoate, TAC -gecoate geleiderring,TAC -gecoate grafietwafordrager, TAC Coating Susceptors,planetaire susceptor, En deze tantalum carbide coatingproducten worden veel gebruikt inSIC Epitaxy -procesEnSic single crystal groeiproces.

Figuur 3.DierenartsEK Semiconductor's populairste tantalum carbide coatingproducten