Wat is CVD TAC -coating? - Veteksemi

Zoals we allemaal weten,tantaalcarbide (TaC)heeft een smeltpunt van maximaal 3880 ° C, hoge mechanische sterkte, hardheid, thermische schokweerstand; Goede chemische inertie en thermische stabiliteit voor ammoniak, waterstof, siliciumbevattende damp bij hoge temperaturen.

Tantalum carbide coating op een microscopische dwarsdoorsnede

CVD TAC -coating, chemische dampafzetting (CVD) vantantaalcarbide (TaC) coating, is een proces voor het vormen van een duurzame coating met hoge dichtheid op een substraat (meestal grafiet). Deze methode omvat het afzetten van TaC op het oppervlak van het substraat bij hoge temperaturen, wat resulteert in een coating met uitstekende thermische stabiliteit en chemische weerstand.

De belangrijkste voordelen van CVD TAC -coatings zijn onder meer:

●  Extreem hoge thermische stabiliteit: Tantalum carbide -coating kan bestand zijn tegen temperaturen van meer dan 2200 ° C.

●  Chemische weerstand: CVD TAC -coating kan effectief weerstand bieden aan zware chemicaliën zoals waterstof, ammoniak en siliciumdamp.

●  Sterke hechting: De TAC-coating zorgt voor langdurige bescherming zonder delaminatie.

● Hoge zuiverheid: Minimaliseert onzuiverheden, waardoor het ideaal is voor halfgeleidertoepassingen.

Deze coatings zijn met name geschikt voor omgevingen die een hoge duurzaamheid en weerstand vereisen tegen extreme omstandigheden, zoals de productie van halfgeleiders en industriële processen op hoge temperatuur.

In industriële productie, grafiet (koolstof-koolstofcomposiet) materialen gecoat met TaC-coating zullen zeer waarschijnlijk traditioneel hoogzuiver grafiet, pBN-coating, SiC-coatingonderdelen, enz. vervangen. Bovendien heeft TaC op het gebied van de lucht- en ruimtevaart een groot potentieel om te worden gebruikt als anti-oxidatiemiddel bij hoge temperaturen en anti-ablatiecoating, en heeft brede toepassingsmogelijkheden. Er zijn echter nog steeds veel uitdagingen om de bereiding van een dichte, uniforme, niet-afbladderende TaC-coating op het oppervlak van grafiet te bereiken en de industriële massaproductie te bevorderen.

In dit proces is het onderzoeken van het beschermingsmechanisme van de coating, het innoveren van het productieproces en het concurreren met het toplandse niveau cruciaal voor de derde generatiehalfgeleiderkristalgroei en epitaxie.

Vetek Semiconductor is een professionele Chinese fabrikant van CVD Tantalum carbide -coatingproducten, en onze TAC -coatingzuiverheid is lager dan 5 ppm, kan voldoen aan de eisen van de klant. Veteksemi Hoofd CVD TAC -gecoate producten omvatten CVD TAC Coating Crucible, CVD TAC Coating Wafer Carrier, CVD TaC-coatingdrager,, CVD TAC Coating Cover,,  CVD TAC -coatingring. Vetek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde oplossingen te bieden voor verschillende coatingproducten voor de halfgeleiderindustrie. Vetek Semiconductor hoopt oprecht uw langdurige partner in China te worden.

Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

E-mail: anny@veteksemi.com