CVD TAC -coatingdrager

Vetek Semiconductor is een professionele leider China CVD TAC Coating Carrier, Epitaxy Susceptor,TAC -gecoate grafietondersteuningfabrikant.

Door middel van continu proces- en materiaalinnovatieonderzoek speelt de CVD TAC -coatingcarrier van Vetek Semiconductor een zeer cruciale rol in het epitaxiale proces, voornamelijk inclusief de volgende aspecten:

Substraatbescherming: CVD TAC -coatingdrager biedt uitstekende chemische stabiliteit en thermische stabiliteit, waardoor de hoge temperatuur en corrosieve gassen effectief voorkomen dat het substraat en de binnenwand van de reactor worden geërodeerd, waardoor de zuiverheid en stabiliteit van de procesomgeving worden gewaarborgd.

Thermische uniformiteit: Gecombineerd met de hoge thermische geleidbaarheid van de CVD TAC -coatingdrager, zorgt het voor de uniformiteit van temperatuurverdeling in de reactor, optimaliseert de kristalkwaliteit en dikte -uniformiteit van de epitaxiale laag en verbetert de prestatiebestrijging van het eindproduct.

Deeltjesbesmetting controle: Aangezien CVD -TAC -gecoate dragers extreem lage deeltjesopwekkingspercentages hebben, verminderen de gladde oppervlakte -eigenschappen het risico op deeltjesverontreiniging aanzienlijk, waardoor de zuiverheid en opbrengst tijdens epitaxiale groei worden verbeterd.

Uitgebreide levensduur van apparatuur: Gecombineerd met de uitstekende slijtvastheid en corrosieweerstand van de CVD TAC -coatingdrager, verlengt het de levensduur van de reactiekamercomponenten aanzienlijk, vermindert downtime en onderhoudskosten van apparatuur en verbetert de productie -efficiëntie.

Door de bovenstaande kenmerken te combineren, verbetert de CVD TAC-coatingdrager van Vetek Semiconductor niet alleen de betrouwbaarheid van het proces en de kwaliteit van het product in het epitaxiale groeiproces, maar biedt ook een kosteneffectieve oplossing voor de productie van halfgeleiders.

Tantalum carbide coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Fysieke eigenschappen van CVD TAC -coatingdrager:

Vetek Semiconductor CVD SIC Coating Production Shop: