CVD TAC Coating Crucible

TAC -coatingrotatie Susceptor speelt een sleutelrol bij depositieprocessen op hoge temperatuur zoals CVD en MBE, en is een belangrijk onderdeel voor het verwerking van wafers bij de productie van halfgeleiders. Onder hen,TAC -coatingHeeft een uitstekende weerstand van hoge temperatuur, corrosieweerstand en chemische stabiliteit, die zorgt voor een hoge precisie en hoge kwaliteit tijdens het verwerking van wafers.

CVD TAC -coating Crucible bestaat meestal uit TAC -coating engrafietsubstraat. Onder hen is TAC een keramisch materiaal met een hoog smeltpunt met een smeltpunt van maximaal 3880 ° C. Het heeft een extreem hoge hardheid (Vickers Hardheid tot 2000 HV), chemische corrosieweerstand en sterke oxidatieresistentie. Daarom is TAC -coating een uitstekend resistent materiaal met hoge temperatuur in de verwerkingstechnologie van halfgeleiders.

Het grafietsubstraat heeft een goede thermische geleidbaarheid (thermische geleidbaarheid is ongeveer 21 w/m · k) en uitstekende mechanische stabiliteit. Dit kenmerk bepaalt dat grafiet een ideale coating wordtsubstraat.

CVD TAC Coating Crucible wordt voornamelijk gebruikt in de volgende halfgeleiderverwerkingstechnologieën:

Wafelproductie: Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Crucible heeft een uitstekende weerstand van hoge temperaturen (smeltpunt tot 3880 ° C) en corrosieweerstand, dus het wordt vaak gebruikt in belangrijke productieprocessen van de wafer zoals dampafzetting (CVD) en epitaxiale groei. Gecombineerd met de uitstekende structurele stabiliteit van het product in ultrahoge temperatuuromgevingen, zorgt het ervoor dat de apparatuur lang onder extreem barre omstandigheden stabiel kan werken, waardoor de productie-efficiëntie en kwaliteit van wafels effectief wordt verbeterd.

Epitaxiaal groeiproces: In epitaxiale processen zoalsChemische dampafzetting (CVD)en Molecular Beam Epitaxy (MBE), CVD TAC Coating Crucible speelt een sleutelrol bij het dragen. De TAC -coating kan niet alleen de hoge zuiverheid van het materiaal onder extreme temperatuur en corrosieve atmosfeer handhaven, maar ook effectief de besmetting van de reactanten op het materiaal en de corrosie van de reactor voorkomen, waardoor de nauwkeurigheid van het productieproces en productconsistentie wordt gewaarborgd.

Als China's toonaangevende CVD TAC -coating Coatible Fabrikant en leider kan Vetek Semiconductor op maat gemaakte producten en technische diensten bieden volgens uw apparatuur en procesvereisten. We hopen oprecht uw langdurige partner in China te worden.

Tantalum carbide (TAC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede：

Fysieke eigenschappen van TAC -coating：

Het halfgeleider CVD TAC Coating Crucible Shops ：