TAC Coating Subser

Vetek Semiconductor's TAC Coated Susceptor enTAC gecoatringWerk samen in de LPE Silicon Carbide Epitaxiale groeimeactor:

● Weerstand op hoge temperatuur: DeTAC -coatingSusceptor heeft een uitstekende weerstand van hoge temperatuur, in staat om de extreme temperaturen tot 1500 ° C te weerstaan ​​in deLPE -reactor. Dit zorgt ervoor dat de apparatuur en componenten niet vervormen of beschadigd raken tijdens langdurige werking.

● Chemische stabiliteit: De TAC -coating susceptor presteert uitzonderlijk goed in de corrosieve siliciumcarbide -groeiomgeving, waardoor de reactorcomponenten effectief worden beschermd tegen corrosieve chemische aanval, waardoor hun levensduur wordt verlengd.

● Thermische stabiliteit: De TAC-coating susceptor heeft een goede thermische stabiliteit, waarbij de oppervlaktemorfologie en ruwheid handhaven om de uniformiteit van het temperatuurveld in de reactor te waarborgen, die gunstig is voor de hoogwaardige groei van de siliciumcarbide epitaxiale lagen.

● anti-besmetting: De soepele TAC -gecoate oppervlak en de superieure TPD -prestaties (temperatuur geprogrammeerde desorptie) kunnen de accumulatie en adsorptie van deeltjes en onzuiverheden in de reactor minimaliseren, waardoor verontreiniging van de epitaxiale lagen wordt voorkomen.

Samenvattend spelen de TAC-gecoate susceptor en ring een kritische beschermende rol in de LPE-siliciumcarbide-epitaxiale groeireactor, waardoor de langdurige stabiele werking van de apparatuur en de hoogwaardige groei van de epitaxiale lagen wordt gewaarborgd.