TAC -coatingring

De TaC-coatingring van VeTek semiconductor is gemaakt van hoogwaardig grafiet en gecoat met tantaalcarbide (TaC), een materiaal dat bekend staat om zijn superieure eigenschappen en een onmisbaar onderdeel is bij de verwerking van halfgeleiderwafels.

De belangrijkste kenmerken en voordelen van Vetek Semiconductor TAC -coatingring:

● Hoge thermische stabiliteit: Een van de opvallende kenmerken van de Tantalum Carbide Coating Ring is het vermogen om hoge temperaturen te weerstaan, een kritische factor bij het etsen van halfgeleiders. Het SiC-etsproces omvat blootstelling aan hoge temperaturen en reactieve gassen, en de Tantalum Carbide-coating zorgt ervoor dat de ring stabiel blijft en zijn structurele integriteit behoudt, zelfs onder deze zware omstandigheden. Deze thermische veerkracht zorgt ervoor dat het onderdeel gedurende langere perioden optimaal blijft presteren.

● Verbeterde mechanische sterkte: De combinatie van hoogwaardig grafiet- en TAC-coating resulteert in een component met verbeterde mechanische eigenschappen, waardoor de TAC-gecoate ring zeer bestand is tegen slijtage. De mechanische sterkte is cruciaal om SIC -wafels stevig op hun plaats te houden, waardoor nauwkeurige etsen worden gewaarborgd en elke vervorming tijdens het proces worden voorkomen.

● Chemische corrosieweerstand: In halfgeleiderprocessen zoals SIC -etsen worden componenten vaak blootgesteld aan agressieve chemicaliën en reactieve gassen. De tantalum carbide -coating biedt uitstekende bescherming tegen corrosie, waardoor de gebruiksduur van de ring aanzienlijk wordt verlengd en de behoefte aan frequente vervangingen wordt geminimaliseerd. Deze weerstand is vooral belangrijk in het etsproces, waarbij de componenten constant in contact staan ​​met chemisch reactieve stoffen.

● Superior coatitac coatingsng voor verbeterde prestaties: De tantaalcarbidecoating op de grafietring zorgt voor een robuust oppervlak dat de algehele prestaties van het onderdeel verbetert. Tantaalcarbide staat bekend om zijn hoge smeltpunt (ongeveer 3.880°C) en zijn uitstekende weerstand tegen chemische reacties, vooral in de agressieve omgevingen die doorgaans voorkomen tijdens productieprocessen van halfgeleiders. Deze Tantalum Carbide-coating verbetert de levensduur van het product aanzienlijk en biedt superieure duurzaamheid in vergelijking met ongecoate grafietringen.

● Verbeterde mechanische sterkte: De combinatie van hoogwaardig grafiet- en TAC-coating resulteert in een component met verbeterde mechanische eigenschappen, waardoor de TAC-gecoate ring zeer bestand is tegen slijtage. De mechanische sterkte is cruciaal om SIC -wafels stevig op hun plaats te houden, waardoor nauwkeurige etsen worden gewaarborgd en elke vervorming tijdens het proces worden voorkomen.

Als toonaangevende leverancier van TAC -coatingring, fabrikant en fabriek in China, is Vetek Semiconductor al lang toegewijd aan het leveren van geavanceerde TAC -coatingringproducten en technische oplossingen voor de Semiconductor Processing Industry en ondersteunt aangepaste productdiensten. Veteksemi kijkt oprecht ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.

Fysische eigenschappen van TaC-coating

TaC Coating Ring-productwinkels van VeTek Semiconductor