TAC Coating Planetaire Susceptor

Op het gebied van de productie van halfgeleiders speelt de TAC -coating planetaire susceptor een cruciale rol. Het wordt veel gebruikt in de groei van siliciumcarbide (SIC) epitaxiale lagen in apparatuur zoals Aixtron G5 -systeem. Bovendien biedt de TAC Coating Planetary Susceptor, wanneer gebruikt als een buitenste schijf in tantalum carbide (TAC) coatingafzetting voor SiC -epitaxie, essentiële ondersteuning en stabiliteit. Het zorgt voor een uniforme afzetting van de tantalum carbide-laag, wat bijdraagt ​​aan de vorming van hoogwaardige epitaxiale lagen met uitstekende oppervlaktemorfologie en gewenste filmdikte. De chemische inertheid van de TAC -coating voorkomt ongewenste reacties en verontreiniging, het handhaven van de integriteit van de epitaxiale lagen en het waarborgen van hun superieure kwaliteit.

De uitzonderlijke thermische geleidbaarheid van de TAC -coating maakt efficiënte warmteoverdracht mogelijk, het bevorderen van uniforme temperatuurverdeling en het minimaliseren van thermische stress tijdens het epitaxiale groeiproces. Dit resulteert in de productie van hoogwaardige SiC-epitaxiale lagen met verbeterde kristallografische eigenschappen en verbeterde elektrische geleidbaarheid.

De precieze dimensies en een robuuste constructie van de TAC -coating planetaire schijf maken het gemakkelijk om te integreren in bestaande systemen, waardoor naadloze compatibiliteit en efficiënte werking worden gewaarborgd. De betrouwbare prestaties en hoogwaardige TAC-coating dragen bij aan consistente en uniforme resultaten in SiC-epitaxie-processen.

Vertrouw op Vetek Semiconductor en onze TAC Coating Planetary Disk voor uitzonderlijke prestaties en betrouwbaarheid in SIC Epitaxy. Ervaar de voordelen van onze innovatieve oplossingen en positioneert u voorop bij technologische vooruitgang in de halfgeleiderindustrie.