Wat is een PECVD -grafietboot?

Ⅰ. Wat is het materiaal van PECVD Graphite Boat?

Het kernmateriaal vanPecvd grafietboot(Plasma verbeterde chemische dampafwijzingsgrafietboot) is gemaakt van hoge zuiverheidisotropisch grafietmateriaal(Zuiverheid is meestal ≥99,999%) en wordt gemodificeerd door speciale processen (zoals chemische dampafzetting CVD of oppervlaktecoating). Hoogstuur grafiet wordt veel gebruikt in PECVD-systemen vanwege de uitstekende elektrische geleidbaarheid en hoge thermische geleidbaarheid (80 ~ 150 w/m · k). DitHigh-zuiver grafietmateriaalKan een goede structurele stabiliteit en chemische stabiliteit in omgevingen op hoge temperatuur behouden en kunnen weerstand bieden aan corrosie van reactieve gassen en plasma.

Ⅱ. Wat zijn de fysieke eigenschappen van Graphite Boat?

De fysieke eigenschappen van PECVD -grafietboten zijn:

● Elektrische geleidbaarheid: Isostatisch grafiet heeft een uitstekende elektrische geleidbaarheid, waardoor het effectief elektrische energie kan beheren en het genereren en onderhoud van plasma tijdens het PECVD -proces kan bevorderen.

●  Thermische geleidbaarheid: De hoge thermische geleidbaarheid van grafiet (ongeveer 80 ~ 150 w/m · k) helpt een stabiele temperatuuromgeving te behouden tijdens het PECVD -proces en zorgt voor een uniforme afzetting van dunne films.

●  Dikte: De dichtheid van commerciële polykristallijn grafiet varieert van 1,30 g/cm³ tot 1,88 g/cm³. Hoe hoger de dichtheid, hoe beter de fysieke en mechanische eigenschappen, die de levensduur van het product kunnen verbeteren.

Ⅲ. Wat zijn de voordelen van PECVD Graphite Boat in vergelijking met de gewone grafietboot?

In vergelijking met gewone grafietboten hebben PECVD -grafietboten de volgende voordelen:

Ⅳ. Waarom kiezen voor de PECVD -grafietboot van Veteksemicon?

Zoals we allemaal weten, is Veteksemicon een toonaangevende fabrikant en leverancier van halfgeleidercoatingproducten engrafietproductenin China. OnsPecvd grafietbotenworden voornamelijk gebruikt in de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrieën, vooral in PECVD- en CVD -processen.

Grafietboten worden meestal gebruikt als dragers om siliciumwafels of andere materialen te vervoeren om te zorgen voor een veilige hantering en transport van deze materialen in hoge temperatuur en plasma -omgevingen. In het productieproces van het halfgeleider zijn bijvoorbeeld de PECVD -grafietboten van Veteksemicon ontworpen voor plasma verbeterde chemische dampafzettingsprocessen. De grafietboot speelt de rol van het afzetten van siliciumnitride (sinₓ) passiveringslagen en lage diëlektrische constante (low-k) films.

In het fotovoltaïsche veld worden PECVD-grafietboten gebruikt om siliciumgebaseerde dunne-film zonnecellen (zoals amorf silicium A-Si: H) en PERC-celpassiveringslagen te bereiden. De PECVD -grafietboot van Veteksemicon optimaliseert het coatingproces door siliciumwafels effectief te versterken en gloedafvoer te induceren om uniforme coatingafzetting te bereiken.

Wat nog belangrijker is, is Veteksemicon op maat gemaakte producten en technische diensten en kan grafietbootproducten van verschillende specificaties ontwerpen en produceren volgens uw werkelijke procesvereisten. Het kiezen van Veteksemicon betekent het kiezen van een marktleider met een sterke kracht in de halfgeleider en fotovoltaïsche industrie. We kijken er oprecht naar uit om uw langdurige partner te worden.