Pecvd grafietboot

Veteksemicon is een professionele China PECVD Graphite Boat -fabrikant en leverancier.

Wat is de rol van de Solar Cell (Coating) PECVD -grafietboot van Vetek Semiconductor?

Als een drager van normale siliciumwafels geproduceerd door het coatingproces, heeft de grafietboot veel bootwafels met bepaalde intervallen in de structuur, en er is een zeer smalle ruimte tussen de twee aangrenzende bootwafels, en de siliciumwafels worden aan beide zijden van de lege deur geplaatst.

Omdat het PECVD -grafietbootmateriaalgrafiet goede elektrische en thermische geleidbaarheidseigenschappen heeft, wordt de AC -spanning gevraagd in de twee aangrenzende boten, zodat de twee aangrenzende boten positieve en negatieve polen vormen, wanneer er een zekere druk en gas in de kamer is, kan gloeien ontlading tussen de twee boten, gloeis ontslag dekken de SIH4 en NH3 -gas in de ruimte, het vormen van SI en N ionen. SINX -moleculen worden gevormd en afgezet op het oppervlak van siliciumwafel om het doel van coating te bereiken.

PECVD -grafietboten worden meestal gebruikt als dragers om siliciumwafels of andere materialen te vervoeren om veilig hantering en transport van deze materialen in hoge temperatuur en plasma -omgevingen te garanderen. In het productieproces van het halfgeleider zijn bijvoorbeeld de PECVD -grafietboten van Veteksemicon ontworpen voor plasma verbeterde chemische dampafzettingsprocessen. De grafietboot speelt de rol van het afzetten van siliciumnitride (sinₓ) passiveringslagen en lage diëlektrische constante (low-k) films.

In het fotovoltaïsche veld worden PECVD-grafietboten gebruikt om siliciumgebaseerde dunne-film zonnecellen (zoals amorf silicium A-Si: H) en PERC-celpassiveringslagen te bereiden. De PECVD -grafietboot van Veteksemicon optimaliseert het coatingproces door siliciumwafels effectief te versterken en gloedafvoer te induceren om uniforme coatingafzetting te bereiken.

Wat nog belangrijker is, is Veteksemicon op maat gemaakte producten en technische diensten en kan grafietbootproducten van verschillende specificaties ontwerpen en produceren volgens uw werkelijke procesvereisten. We kijken er oprecht naar uit om uw langdurige partner te worden.

En De voordelen van PECVD Graphite Boat in vergelijking met gewone grafietboot, klik gewoon