Kwartswafelboot met hoge zuiverheid

De High Purity Quartz Wafer Boat van VeTek Semiconductor is gemaakt van kwarts met ultrahoge zuiverheid, dat de kenmerken heeft van een laag hydroxylgehalte, hoge zuiverheid en sterke weerstand tegen hoge temperaturen. Dit materiaal wordt ook veel gebruikt in de halfgeleiderindustrie als materiaal voor diffusieovens en CVD-ovencomponenten. Als container voor het vervoeren van siliciumwafels is zeer zuivere kwartsbootwafel gebruikt op halfgeleider-, fotovoltaïsche, chemische en andere gebieden.

Toepassingsscenario's

Ten eerste is het halfgeleiderveld. Het warmtebehandelingsproces van wafels is erg belangrijk, inclusief thermische oxidatie, diffusie, gloeien, enz. Door het warmtebehandelingsproces geven we de wafels nieuwe kenmerken.

Batchovenkernbuizen worden gebruikt voor verwerkingsprocessen van halfgeleiderwafels, zoals thermische oxidatie, diffusie bij hoge temperaturen, uitgloeien en dunne-filmafzetting. De batchverwarmingsoven wordt voornamelijk gebruikt om het ovenlichaam door middel van spoelen te verwarmen om de warmtebehandeling te voltooien. Volgens de verschillende werkstructuren kunnen batchovenkernbuizen worden onderverdeeld in horizontale ovens en verticale ovens:

(1) De wafelboot met hoge zuiverheid van de horizontale oven wordt horizontaal geplaatst, dus wordt het een horizontale oven genoemd.

Tijdens het warmtebehandelingsproces wordt de wafel op de zeer zuivere kwartswafelboot geladen, langzaam naar de kwartsovenbuis gestuurd en wordt de wafel in een zone met constante temperatuur geplaatst voor verwerking. Na te hebben gewacht tot het proces is voltooid, wordt de door Wafer gebruikte kwartsboot langzaam uit de kwartsoven getrokken om te voorkomen dat de wafer beschadigd raakt door plotselinge temperatuurveranderingen. Horizontale ovens worden veel gebruikt in het diffusieproces van geïntegreerde schakelingen met wafeldiameters van minder dan 200 mm. 

De voordelen van horizontale ovens zijn een eenvoudig proces, goede uniformiteit tussen wafels en de mogelijkheid om meerdere wafels tegelijkertijd te verwerken. De nadelen zijn een lage verwarmingssnelheid, grote apparatuuromvang, problemen bij automatisering en gemakkelijke toegang van externe lucht bij het laden en lossen van wafers.

(2) De wafelboot met hoge zuiverheid van de verticale oven wordt verticaal geplaatst, dus wordt het een verticale oven genoemd.

De wafer wordt geladen op de kwarttoren en stijgt langzaam naar de kwartsbuis voor verwarming. Tijdens het verwarmingsproces zal de wafelboot met hoge zuiverheidskwarts langzaam draaien om ervoor te zorgen dat de wafel gelijkmatig wordt verwarmd. Na de verwerking zal de kwarttoren langzaam afdalen om temperatuurveranderingen te voorkomen die wafelschade kunnen veroorzaken. Verticale ovens worden voornamelijk gebruikt in het geïntegreerde circuitproces van wafels van 200 mm en 300 mm diameter. De kerntechnologie van verticale ovens ligt in de controle van het veld met een hoge precisie temperatuurregeling, deeltjesregeling, micro-zuurstofcontrole en motorisering van micro-omgevingen. De voordelen van verticale ovens zijn dunne natuurlijke oxidelaag, goede uniformiteit, gemakkelijkere automatisering, voetafdruk van kleine apparatuur en batchverwerking. Het nadeel is dat de verwarmingssnelheid traag is.

Op fotovoltaïsch gebied vereist het productieproces van fotovoltaïsche cellen kwartsboten om siliciumwafels te vervoeren en te transporteren in het diffusieproces bij hoge temperatuur. Behandeling op hoge temperatuur in een zeer zuivere atmosfeer van stikstof, zuurstof of een ander inert gas, zoals fosfordiffusie of boordiffusie, is een belangrijke stap in het productieproces van zonnecellen. Het doel is om een ​​PN-overgang op de siliciumwafel te vormen.

De kwartboot heeft nauwkeurig slots binnenin om ervoor te zorgen dat de siliciumwafel de exacte positie in stand houdt tijdens het diffusieproces van hoge temperatuur en gelijkmatig wordt verwarmd. Omdat het kwartsmateriaal een goede weerstand op hoge temperatuur en chemische stabiliteit heeft, zal het de siliciumwafel niet vervuilen, die bevorderlijk is voor het handhaven van een hoge netheid van de productieomgeving.

Als innovator en leider op de Chinese Wafer-gebruikte kwartsbootmarkt, of u zich nu bezighoudt met de halfgeleiderindustrie of de fotovoltaïsche industrie, vraag ons om een ​​offerte als u een zeer zuivere Quartz Wafer Boat nodig heeft, zodat wij deze op maat kunnen maken. het voor u volgens uw behoeften.

Het halfgeleider Productenwinkels: