ALD gesmolten kwarts voetstuk

Vetek Semiconductor Ald Fused Quartz voetstuk speelt een sleutelrol in het productieproces van halfgeleiders als een ondersteuningsstructuur voor dekwarts boot, die wordt gebruikt om dewafeltje. Gesmolten Quartz -voetstuk helpt bij het bereiken van uniforme filmafzetting door een stabiele temperatuur te handhaven, wat direct de prestaties en betrouwbaarheid van halfgeleiderapparaten beïnvloedt. Bovendien zorgt Quartz -pedestal voor een uniforme verdeling van warmte en licht in de proceskamer, waardoor de algehele kwaliteit van het depositieproces wordt verbeterd.

ALD gesmolten kwarts voetstuk materiaalvoordelen

Hoge temperatuurweerstand: Het verzachtende punt van gefuseerd kwartsvoetstuk is zo hoog als ongeveer 1730 ° C en kan lange tijd bestand zijn tegen een hoge temperatuur van 1100 ° C tot 1250 ° C. voor een korte tijd.

Uitstekende corrosieweerstand: Fused Quartz is zeer chemisch inert voor bijna alle zuren behalve hydrofluorzuur. De zuurweerstand is 30 keer hoger dan keramiek en 150 keer hoger dan roestvrij staal. Gesmolten kwarts is chemisch ongeëvenaard bij hoge temperaturen, waardoor het een ideaal materiaal is voor complexe chemische processen.

Thermische stabiliteit: Een belangrijk kenmerk van het fuse Quartz -voetstukmateriaal is de extreem lage coëfficiënt van thermische expansie. Dit betekent dat het gemakkelijk kan omgaan met dramatische temperatuurschommelingen zonder te kraken. Gesmolten silicagkwarts kan bijvoorbeeld snel worden verwarmd tot 1100 ° C en rechtstreeks in koud water worden ondergedompeld zonder schade, een belangrijk kenmerk in de productieomstandigheden met hoge stress.

Rigoureus productieproces: Het productieproces van de sokkels van gesmolten silica voldoet strikt aan hoge kwaliteitsnormen. Het productieproces maakt gebruik van warmvervormings- en lasprocessen, die doorgaans worden voltooid in een cleanroom-omgeving van klasse 10.000. Daarna wordt het voetstuk van gesmolten kwartsglas grondig gereinigd met ultrapuur water (18 MΩ) om de zuiverheid van het product en optimale prestaties te garanderen. Elk eindproduct wordt rigoureus geïnspecteerd, gereinigd en verpakt in een cleanroom van klasse 1.000 of hoger om te voldoen aan de hoge normen van de halfgeleiderindustrie.

Zeer zuiver ondoorzichtig silicakwartsmateriaal

VeTeksemi ALD Fused Quartz-voetstuk maakt gebruik van zeer zuiver ondoorzichtig kwartsmateriaal om warmte en licht effectief te isoleren. Dankzij de uitstekende hitte- en lichtafschermende eigenschappen kan het een uniforme temperatuurverdeling in de proceskamer handhaven, waardoor uniformiteit en consistentie van dunne lagen wordt gegarandeerd.filmafzettingop het wafeloppervlak.

Aanvraagvelden

Sokkels van gesmolten kwarts worden op veel gebieden van de halfgeleiderindustrie veel gebruikt vanwege hun uitstekende prestaties. In deAtomic Layer Deposition (ALD)-proces, ondersteunt het een nauwkeurige controle van de filmgroei en zorgt het voor de vooruitgang van halfgeleiderapparaten. In delage druk chemische dampafzetting (LPCVD) procesDe thermische stabiliteit en het lichtafschermende vermogen van het zeer zuivere kwartsvoetstuk bieden garanties voor een uniforme afzetting van dunne films, waardoor de prestaties en opbrengst van het apparaat worden verbeterd.

Bovendien zorgen de hoge temperatuurbestendigheid en chemische corrosieweerstand van het Fused Quartz Pedestal bij het diffusiewafelproces voor de betrouwbaarheid en consistentie van het doteringsproces van halfgeleidermateriaal. Deze sleutelprocessen bepalen de elektrische prestaties van halfgeleiderapparaten, en hoogwaardige Fused Quartz-materialen spelen een onmisbare rol bij het bereiken van de beste resultaten van deze processen.

Vetek Semiconductor Ald Fused Quartz voetstukwinkels: