Welke materialen worden gebruikt in keramische componenten van halfgeleiders?

Alumina Ceramics (Al₂o₃) ‌

Alumina -keramiek is het "werkpaard" voor de productie van keramische componenten. Ze vertonen uitstekende mechanische eigenschappen, ultrahoge smeltpunten en hardheid, corrosieweerstand, sterke chemische stabiliteit, hoge weerstand en superieure elektrische isolatie. Ze worden gewoonlijk gebruikt om polijstplaten, vacuüm klootzakken, keramische armen en soortgelijke onderdelen te fabriceren.

‌Aluminium nitride keramiek (ALN)

Aluminium nitride -keramiek heeft een hoge thermische geleidbaarheid, een thermische expansiecoëfficiënt die overeenkomt met die van silicium en lage diëlektrische constante en verlies. Met voordelen zoals hoog smeltpunt, hardheid, thermische geleidbaarheid en isolatie, worden ze voornamelijk gebruikt in warmtedissiperende substraten, keramische sproeiers en elektrostatische klootzakken.

‌Yttria keramiek (y₂o₃)

Yttria -keramiek heeft een hoog smeltpunt, uitstekende chemische en fotochemische stabiliteit, lage fononenergie, hoge thermische geleidbaarheid en goede transparantie. In de halfgeleiderindustrie worden ze vaak gecombineerd met aluminiumoxide -keramiek - bijvoorbeeld Yttria -coatings worden toegepast op aluminiumoxide -keramiek om keramische ramen te produceren.

‌Silicon nitride keramiek (si₃n₄) ‌

Siliciumnitride -keramiek wordt gekenmerkt door een hoog smeltpunt, uitzonderlijke hardheid, chemische stabiliteit, lage thermische expansiecoëfficiënt, hoge thermische geleidbaarheid en sterke thermische schokweerstand. Ze handhaven uitstekende impactweerstand en sterkte onder 1200 ° C, waardoor ze ideaal zijn voor keramische substraten, dragende haken, positioneringspennen en keramische buizen.

‌Silicon Carbide Ceramics (sic) ‌

Siliconen carbide -keramiek, die lijkt op diamant in eigenschappen, zijn lichtgewicht, ultrahard en hoogwaardig materiaal. Met uitzonderlijke uitgebreide prestaties, slijtvastheid en corrosieweerstand worden ze veel gebruikt in klepstoelen, glijdende lagers, branders, sproeiers en warmtewisselaars.

‌Zirconia Ceramics (Zro₂) ‌

Zirkonia -keramiek biedt een hoge mechanische sterkte, hittebestendigheid, zuur/alkali -resistentie en uitstekende isolatie. Op basis van zirkonia -inhoud worden ze gecategoriseerd in:

• Precisie-keramiek‌ (inhoud van meer dan 99,9%, gebruikt voor geïntegreerde circuitsubstraten en hoogfrequente isolerende materialen).
• Gewone keramiek‌ (voor algemene keramische producten).

Structurele kenmerken vanHalfgeleider keramiek Componenten

‌Dense keramiek‌

Dichte keramiek wordt veel gebruikt in de halfgeleiderindustrie. Ze bereiken verdichting door poriën te minimaliseren en worden bereid via methoden zoals reacties die sinteren, drukloze sinteren, vloeistoffase sinteren, hete drukken en hete isostatische druk.

‌Poreus keramiek

In tegenstelling tot dicht keramiek bevat poreuze keramiek een gecontroleerd volume leegte. Ze worden geclassificeerd door poriegrootte in microporeus, mesoporeus en macroporeus keramiek. Met een lage bulkdichtheid, lichtgewicht structuur, groot specifiek oppervlak, effectieve filtratie/thermische isolatie/akoestische dempingseigenschappen en stabiele chemische/fysische prestaties worden ze gebruikt om verschillende componenten in halfgeleiderapparatuur te produceren.