Siliconen carbide keramische coating

Het halfgeleider Siliconen carbide keramische coatingis een krachtige beschermende coating gemaakt van extreem harde en slijtvaste siliciumcarbide (SIC) materiaal, dat uitstekende chemische corrosieweerstand en stabiliteit met hoge temperatuur biedt. Deze eigenschappen zijn cruciaal in de productie van halfgeleiders, dus keramische coating van siliciumcarbide wordt veel gebruikt op belangrijke componenten van de productieapparatuur van halfgeleiders.

De specifieke rol gespeeld door Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating in Semiconductor Production isals volgt:

Verbeter de duurzaamheid van apparatuur: Siliconencarbide keramische coating biedt uitstekende oppervlaktebescherming voor de productieapparatuur van halfgeleiders met zijn extreem hoge hardheid en slijtvastheid. Vooral in hoge temperatuur, sterk corrosieve procesomgevingen, zoals chemische dampdepositie (CVD) en plasma-etsen, kunnen keramische coating van siliciumcarbide schade aan het apparatuuroppervlak effectief voorkomen als gevolg van chemische erosie of fysieke slijtage, waardoor de levensduur van de apparatuur aanzienlijk wordt verlengd en de levensduur van de apparatuur aanzienlijk verlengt.

Improve process purity: In het productieproces van het halfgeleider kan elke kleine besmetting productdefecten veroorzaken. De chemische inertie van siliciumcarbide -keramische coating maakt het mogelijk stabiel te blijven onder extreme omstandigheden, voorkomt dat het materiaal deeltjes of onzuiverheden vrijgeeft en de zuiverheid van de omgeving tijdens het proces waarborgt. Dit is vooral belangrijk voor productiestappen die een hoge precisie en hoge netheid vereisen, zoals PECVD en ionenimplantatie.

Optimaliseer thermisch beheer: Bij de verwerking van halfgeleiders hoge temperatuur, zoals snelle thermische verwerking (RTP) en oxidatieprocessen, maakt de hoge thermische geleidbaarheid van siliciumcarbide keramische coating een uniforme temperatuurverdeling in de apparatuur mogelijk. Dit helpt de thermische stress en materiaalvervorming veroorzaakt door temperatuurschommelingen te verminderen, waardoor de nauwkeurigheid en consistentie van productproductie wordt verbeterd.

Ondersteuning complexe procesomgeving: In processen die complexe atmosfeercontrole vereisen, zoals ICP-etsen en PSS-etsenprocessen, zorgen de stabiliteit en oxidatieresistentie van de keramische coatingverwarming van siliciumcarbide ervoor dat de stabiele prestaties van de apparatuur in langdurige werking in de lange termijn worden verminderd, waardoor het risico op materiaalafbraak of apparatuurschade vanwege milieuveranderingen door milieuveranderingen wordt verminderd.

Het halfgeleiderRicht zich op de productie en het leveren van krachtige prestatiesSiliconen carbide keramische coating, en streeft ernaar geavanceerde technologie- en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie.We hopen oprecht uw langdurige partner in China te zijn.

Basisfysische eigenschappen vanSiliconen carbide keramische coating:

Vetek halfgeleider silicium carbide keramische coatingwinkels:

Overzicht van de Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: