Silicium carbide wafel chuck

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck gebruikt de uitstekende eigenschappen van siliciumcarbidematerialen om te voldoen aan de strenge vereisten van de productie van halfgeleiders, met name bij de verwerking van halfgeleiders die een extreem hoge precisie en betrouwbaarheid vereist.

In het halfgeleiderverwerkingsproces,Siliciumcarbideheeft een uitstekende weerstand van hoge temperatuur (kan stabiel werken tot 1400 ° C), lage geleidbaarheid (sic heeft een relatief lage geleidbaarheid, meestal 10^^-3S/m) en lage thermische expansiecoëfficiënt (ongeveer 4,0 × 10^^-6/° C), dat een onmisbaar en belangrijk materiaal is, vooral geschikt voor de vervaardiging van siliciumcarbide wafer chuck.

Tijdens deEpitaxiaal groeiproces, een dunne laag halfgeleidermateriaal wordt afgezet op een substraat, waarvoor absolute stabiliteit van de wafel vereist is om te garanderen van uniforme en hoogwaardige filmafzettingslagen. De SIC -vacuüm Chuck bereikt dit door een stevige, consistente vacuümhond te creëren om elke beweging of vervorming van de wafel te voorkomen.

De siliciumcarbide wafer Chuck biedt ook uitstekende weerstand tegen thermische schok. Snelle temperatuurveranderingen zijn gebruikelijk in de productie van halfgeleiders en materialen die deze schommelingen niet kunnen weerstaan, kunnen barsten, buigen of falen. Siliciumcarbide heeft een lage coëfficiënt van thermische expansie en kan zijn vorm en functie behouden, zelfs onder drastische temperatuurveranderingen, zodat de wafer veilig blijft tijdens het epitaxie -proces zonder beweging of verkeerde uitlijning.

Bovendien, deEpitaxy -procesomvat vaak reactieve gassen en andere corrosieve chemicaliën. De chemische inertie van de SIC -wafer Chuck zorgt ervoor dat deze niet wordt beïnvloed door deze harde omgevingen, het handhaven van zijn prestaties en het verlengen van zijn levensduur. Deze chemische duurzaamheid vermindert niet alleen de frequentie van waferchuck-vervanging, maar zorgt ook voor consistente productprestaties over meerdere productiecycli, waardoor de algehele efficiëntie en de kosteneffectiviteit van het productieproces van het halfgeleider wordt verbeterd.

Vetek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van Silicon Carbide Wafer Chuck -producten in China. We kunnen verschillende soorten Chuck -producten bieden, zoalsPoreuze SIC keramische chuck, Poreuze sic vacuüm chuck, Poreuze keramische vacuüm chuckEnTAC gecoate chuck, enz. Vetek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie- en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. We hopen oprecht uw langdurige partner in China te worden.

SEM -gegevens van CVDSIC -filmkristalstructuur：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：