Siliconen carbide keramische coatingverwarming

Het halfgeleiderSiliciumcarbide keramische coatingverwarming is een kachel ontworpen voor hoge temperatuur en harde omgevingen. Het bedekt een laag siliciumkoolstof keramische coating (SIC) op het oppervlak van het verwarmingselement om de apparatuur uitstekende hittebestendigheid, corrosieweerstand en thermische geleidbaarheid te geven. 

Siliconen carbide keramische coatingverwarmingwordt voornamelijk gebruikt in apparatuur voor vacuümcoating (verdamping). De veelgebruikte methoden zijn PCD (plasma-chemisch drogen) en PVD (fysieke dampafzetting), die veel worden gebruikt in de productie van halfgeleiders en andere industriële toepassingen met veel aanvraag.

Gecombineerd met het krachtige coatingontwerp van siliciumcarbide keramische coatingverwarming,Het kan een uitstekende verwarmingsoplossing bieden voor processen op hoge temperatuur.

Uitstekende thermische geleidbaarheid: SIC -materiaal heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid, zodat de verwarming een uniforme warmteverdeling in het werkgebied kan bereiken en temperatuurgradiënten kan verminderen.

Zorg voor uniforme warmteverdeling: Siliciumcarbide keramische coatingverwarming gebruikt de hoge thermische geleidbaarheid van SiC -materiaal om een ​​uniforme temperatuurverdeling in het verwarmingsgebied te bereiken. Dit is van cruciaal belang om te zorgen voor een uniforme warmtebehandeling van halfgeleiderwafels in verschillende hoge-temperatuurprocessen zoals snelle thermische verwerking (RTP), diffusie en oxidatie, het vermijden van productdefecten veroorzaakt door lokale oververhitting of ongelijke temperatuur.

Hoge temperatuurtolerantie: SIC-coating stelt de verwarming in staat om extreem hoge temperaturen, meestal tot 1600 ° C, te weerstaan, geschikt voor verschillende verwerkingsprocessen bij hoge temperatuur.

Verbetering van de warmtebestendigheid: Omdat de coating bestand is tegen extreem hoge temperaturen, presteert het goed in processen die langdurige werking op hoge temperatuur vereisen. Bij bijvoorbeeld chemische dampafzetting (CVD) processen kan siliciumcarbide keramische coatingverwarming bijvoorbeeld zorgen voor een langdurige stabiele werking van de apparatuur bij hoge temperaturen en consistente verwarmingsprestaties behouden, waardoor de herhaalbaarheid en betrouwbaarheid van het proces wordt verbeterd.

Chemische corrosieweerstand: SIC -coating heeft een extreem hoge weerstand tegen zuur, alkali en corrosieve gassen en kan lange tijd stabiel blijven in een complexe chemische atmosfeeromgeving, waardoor de levensduur van de apparatuur wordt verlengd. 

De levensduur van de apparatuur verlengen: SIC -coating heeft uitstekende oxidatieresistentie en corrosiebestendigheid en kan effectief weerstand bieden aan chemische erosie en oxidatie bij hoge temperaturen. Dit is zeer van cruciaal belang in het productieproces van halfgeleiders, vooral in een omgeving die corrosieve gassen en chemicaliën verwerkt. Het beschermende effect van de coating kan de levensduur van de verwarming aanzienlijk verlengen en de frequentie van vervanging en onderhoudskosten van apparatuur verminderen.

Basisfysische eigenschappen van siliciumcarbide keramische coatingverwarming:

Vetek halfgeleider silicium carbide keramische coating kachelwinkels:

Overzicht van de Vetek Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: