CVD SIC Coating Verwarmingselement

CVD SIC -coatingverwarmingselement wordt voornamelijk gebruikt in PVD -apparatuur (fysieke dampafzetting). In het verdampingsproces wordt het materiaal verwarmd om verdamping of sputteren te bereiken, en uiteindelijk wordt een uniforme dunne film gevormd op het substraat.

Ⅰ.Specifieke toepassing

Dunne filmafzetting: CVD SIC -coatingverwarmingselement wordt gebruikt in verdampingsbron of sputterbron. Door te verwarmen verwarmt het element het materiaal dat moet worden afgezet op een hoge temperatuur, zodat de atomen of moleculen zijn gescheiden van het oppervlak van het materiaal, waardoor damp of plasma wordt gevormd. Onze SIC -coating op basis van verwarmingselement kan ook direct sommige metaal- of keramische materialen verwarmen om ze te verdampen of te sublimeren in een vacuümomgeving voor gebruik als materiaalbron in het PVD -proces. Omdat de structuur concentrische groeven heeft, kan het het huidige pad en de warmteverdeling beter regelen om de uniformiteit van verwarming te waarborgen.

Schematisch diagram van het PVD -proces van verdamping

Ⅱ.Werkprincipe

Resistieve verwarming, wanneer de stroom door het weerstandspad van de door SIC gecoate verwarming gaat, wordt joule warmte gegenereerd, waardoor het effect van verwarming wordt bereikt. Door de concentrische structuur kan de stroom gelijkmatig worden verdeeld. Een temperatuurregelapparaat is meestal verbonden met het element om de temperatuur te bewaken en aan te passen.

Ⅲ.Materiaal en structureel ontwerp

CVD SIC-coatingverwarmingselement is gemaakt van hoog-zuiver grafiet en SIC-coating om het hoofd te bieden met een hoge temperatuuromgeving. Hoge zuiver grafiet zelf is veel gebruikt als een thermisch veldmateriaal. Nadat een laag coating op het grafietoppervlak wordt toegepast door CVD-methode, worden de stabiliteit van hoge temperatuur, corrosieweerstand, thermische efficiëntie en andere kenmerken verder verbeterd.

Door het ontwerp van concentrische groeven kan de stroom een ​​uniforme lus op het schijfoppervlak vormen. Het bereikt een uniforme warmteverdeling, vermijdt lokale oververhitting veroorzaakt door de concentratie in bepaalde gebieden, vermindert extra warmteverlies veroorzaakt door de huidige concentratie en verbetert dus de verwarmingsefficiëntie.

Het CVD SIC -coatingverwarmingselement bestaat uit twee benen en een lichaam. Elk been heeft een thread die verbinding maakt met de voeding. Vetek Semiconductor kan onderdelen uit één stuk of gesplitste delen maken, dat wil zeggen, de benen en het lichaam worden afzonderlijk gemaakt en vervolgens geassembleerd. Welke vereisten u ook hebt voor de CVD SIC Coated -verwarming, raadpleeg ons. Veteksemi kan de producten bieden die u nodig hebt.

Basisfysische eigenschappen van CVD SIC -coating: