Waarom krijgt SIC -coating zoveel aandacht? - Vetek halfgeleider

In de afgelopen jaren, met de continue ontwikkeling van de elektronica -industrie,de halfgeleider van de derde generatieMaterialen zijn een nieuwe drijvende kracht geworden voor de ontwikkeling van de halfgeleiderindustrie. Als typische vertegenwoordiger van de halfgeleidermaterialen van de derde generatie wordt SiC op grote schaal gebruikt in de halfgeleiderproductie, vooral in de productie van halfgeleiders.thermisch veldMaterialen, vanwege de uitstekende fysische en chemische eigenschappen.

Wat is SiC-coating precies? En wat isCVD SIC -coating?

SiC is een covalent gebonden verbinding met hoge hardheid, uitstekende thermische geleidbaarheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt en hoge corrosieweerstand. De thermische geleidbaarheid kan 120-170 W/m·K bereiken, wat een uitstekende thermische geleidbaarheid laat zien bij de warmteafvoer van elektronische componenten. Bovendien is de thermische uitzettingscoëfficiënt van siliciumcarbide slechts 4,0×10-6/K (in het bereik van 300–800℃), waardoor het de maatstabiliteit kan behouden in omgevingen met hoge temperaturen, waardoor vervorming of defecten veroorzaakt door thermische omstandigheden aanzienlijk worden verminderd. spanning. Siliciumcarbidecoating verwijst naar een coating gemaakt van siliciumcarbide die op het oppervlak van onderdelen wordt aangebracht door middel van fysische of chemische dampafzetting, spuiten, enz.  

Chemische dampafzetting (CVD)is momenteel de belangrijkste technologie voor het voorbereiden van SiC-coating op substraatoppervlakken. Het belangrijkste proces is dat de gasfasereagentia een reeks fysische en chemische reacties op het substraatoppervlak ondergaan, en uiteindelijk wordt de CVD SiC-coating op het substraatoppervlak afgezet.

Sem-gegevens van CVD SiC-coating

Aangezien siliciumcarbide -coating zo krachtig is, heeft het een enorme rol gespeeld in welke links van halfgeleiderproductie een enorme rol hebben gespeeld? Het antwoord is de Epitaxy -productie -accessoires.

De SIC -coating heeft het belangrijkste voordeel van het zeer overeenkomen van het epitaxiale groeiproces in termen van materiaaleigenschappen. De volgende zijn de belangrijke rollen en redenen van SIC -coating inSIC-coating epitaxiale susceptor:

1. Hoge thermische geleidbaarheid en weerstand op hoge temperatuur

De temperatuur van de epitaxiale groeiomgeving kan boven 1000 ℃ reiken. SIC -coating heeft een extreem hoge thermische geleidbaarheid, die effectief warmte kan afwijzen en de temperatuuruniformiteit van epitaxiale groei kan waarborgen.

2. Chemische stabiliteit

SiC-coating heeft een uitstekende chemische inertheid en is bestand tegen corrosie door corrosieve gassen en chemicaliën, waardoor wordt gegarandeerd dat de coating niet nadelig reageert met reactanten tijdens epitaxiale groei en de integriteit en zuiverheid van het materiaaloppervlak behouden blijft.

3. Overeenkomende roosterconstante

Bij epitaxiale groei kan SIC -coating goed worden geëvenaard met een verscheidenheid aan epitaxiale materialen vanwege de kristalstructuur, die de mismatch van het rooster aanzienlijk kan verminderen, waardoor kristalafwijkingen worden verminderd en de kwaliteit en prestaties van de epitaxiale laag kunnen worden verbeterd.

4. Lage thermische expansiecoëfficiënt

SiC-coating heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt en ligt relatief dicht bij die van gewone epitaxiale materialen. Dit betekent dat er bij hoge temperaturen geen ernstige spanning zal zijn tussen de basis en de SiC-coating vanwege het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënten, waardoor problemen zoals loslaten van het materiaal, scheuren of vervorming worden vermeden.

5. Hoge hardheid en slijtvastheid

SIC -coating heeft een extreem hoge hardheid, dus het coaten op het oppervlak van de epitaxiale basis kan zijn slijtvastheid aanzienlijk verbeteren en de levensduur van de services verlengen, terwijl het ervoor zorgt dat de geometrie en oppervlakte -vlakheid van de basis niet worden beschadigd tijdens het epitaxiale proces.

Dwarsdoorsnede en oppervlakte-beeld van SIC-coating

Naast een accessoire voor epitaxiale productie,SIC -coating heeft ook aanzienlijke voordelen op deze gebieden:

Halfgeleider wafeldragers：Tijdens de verwerking van halfgeleiders vereist de hantering en verwerking van wafers een extreem hoge zuiverheid en precisie. SiC-coating wordt vaak gebruikt in waferdragers, beugels en trays.

Wafeldrager

Voorverwarmring：De voorverwarmingsring bevindt zich op de buitenring van de Si epitaxiale substraatlade en wordt gebruikt voor kalibratie en verwarming. Het wordt in de reactiekamer geplaatst en neemt niet direct contact op met de wafer.

  Voorverwarmende ring

Het bovenste halve maan is de drager van andere accessoires van de reactiekamer van deSiC-epitaxieapparaat, die temperatuur wordt geregeld en geïnstalleerd in de reactiekamer zonder direct contact met de wafer. Het onderste onderdeel van de onderste halve maan is verbonden met een kwartsbuis die gas introduceert om de basisrotatie aan te sturen. Het is temperatuurgestuurd, geïnstalleerd in de reactiekamer en komt niet in direct contact met de wafel.

Bovenste halvemaandeel

Bovendien zijn er smeltkroes voor verdamping in de halfgeleiderindustrie, elektronische buispoort met hoge stroom, borstel die contact maakt coating van atomaire absorptiebuizen, enz., SiC-coating spelen een steeds belangrijkere rol.

Waarom kiezenHet halfgeleider?

Bij VeTek Semiconductor combineren onze productieprocessen precisietechniek met geavanceerde materialen om SiC-coatingproducten te produceren met superieure prestaties en duurzaamheid, zoalsSiC-gecoate wafelhouderDus coating Epi UndertakerUV LED Epi-ontvanger, Siliconen carbide keramische coatingEnSic coating ald susceptor. We zijn in staat om te voldoen aan de specifieke behoeften van de halfgeleiderindustrie en andere industrieën, waardoor klanten een hoogwaardige aangepaste SIC-coating bieden.

Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E -mail: anny@veteksemi.com