Aldus coating EPI -ontvanger

Vetek Semiconductor is professionele fabrikant in China voor het dus ondernomen coating van EPI.

Vetek Semiconductor's SIC Coating Epi Susceptor is gemaakt van grafiet en siliciumcarbide. Dit SIC -coatingproduct maakt gebruik van geïmporteerd grafiet, dat stabielere prestaties en een lange levensduur heeft, en wordt zeer geprezen door onze Europese en Amerikaanse klanten. Tegelijkertijd is de concentratie van SIC -coating EPI -susceptor lager dan 5 ppm en de uniformiteit is erg goed. Na continue technologische upgrades gebruikt Vetek Semiconductor een nieuw proces om een ​​goede match te vormen tussen de thermische expansiecoëfficiënt van SIC -coating en grafietmaterialen.

SIC Coating EPI Susceptor wordt speciaal gebruikt in hoge temperatuur en corrosieve omgevingen in halfgeleiderapparatuur. SIC Coating EPI Susceptor wordt vaak gebruikt in apparatuur zoals Aixtron, vooral in het diepe ultraviolette epitaxy (DUV Epitaxy) -proces, en speelt een sleutelrol.

In het diepe ultraviolette epitaxie (DUV Epitaxy) -proces, gecombineerd met de uitstekende hoge temperatuurweerstand en corrosieweerstand van SIC Coating EPI -susceptor, wordt SIC Coating Epi Susceptor meestal geïnstalleerd rond de reactiekamer in de Aixtron -apparatuur als een drager tijdens het epitaxief proces de apparatuur beschadigen of verontreinigen.

Deze Epi-susceptor met SiC-coating is ontworpen voor diepe ultraviolette epitaxie. We controleren de coating van siliciumcarbide strikt en gebruiken bufferlaagtechnologie om problemen veroorzaakt door verschillen in thermische uitzettingscoëfficiënten tussen grafiet- en siliciumcarbidecoatings te verminderen, waardoor de levensduur van het product wordt verlengd. Momenteel heeft ons product talloze onderscheidingen ontvangen en wordt het erkend als een van de beste op de binnenlandse markt.

Als marktleider in SIC -coatingproducten ondersteunt Vetek Semiconductor productaanpassingsdiensten en bevredigende productprijzen, en kijkt hij uit naar uw verder overleg.

SEM -gegevens van CVD SIC -film:

Vetek Semiconductor SIC Coating Rokproducten Winkels:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: