High Purity Quartz Boat

Quartz-boten met hoge zuiverheid zijn precisiedragers gemaakt van ultrahoge zuiverheidskwartsmaterialen (SIO₂-gehalte ≥ 99,99%), ontworpen voor hoge-temperatuurprocessen op hoge temperatuur. Dit apparaat is essentieel voor processen zoals gloeien, diffusie, oxidatie en chemische dampafzetting (CVD) en wordt veel gebruikt in halfgeleiders, fotovoltaïsche en andere velden. Het kernvoordeel ligt in de fysische en chemische stabiliteit van het materiaal zelf.

Ⅰ. Uitstekende fysieke eigenschappen van Veteksemicon High-zuivere kwartsboot

Ⅱ. Hoofdgebruik en bijbehorende productvoordelen van een hoge zuiverheidskwartboot

1. De productie van halfgeleiders:

Specifiek gebruik: Draaggereedschap in wafer hoge temperatuur diffusie, oxidatie, gloeien en CVD (chemische dampafzetting) processen.

Productvoordelen:

● Ultra-lage vervuiling: Veteksemicon's 99,99% Pure Wafer -boten vermijden metaalionverontreiniging en zorgen voor chip -elektrische prestaties.

● Nauwkeurige grootte: De vlakheid van de kwartswaferboot is ± 0,05 mm, waardoor uniforme verwarming van de wafel (zoals een 12-inch wafersboot) zorgt.

● Lang leven: Volgens de werkelijke productiegegevens die we hebben geregistreerd, kunnen de kwartswaferboten die we produceren meer dan 1000 uur bij 1200 ° C continu worden gebruikt, waardoor de vervangingsfrequentie aanzienlijk wordt verminderd (vergeleken met gewone kwartsboten, wordt het leven 3 keer toegenomen).

2. Fotovoltaïsche industrie

Specifiek gebruik: Op het gebied van de productie van de fotovoltaïsche industrie worden quartz-boten met hoge zuiverheid meestal gebruikt voor siliciumwafels in de fosfordiffusie van PERC-cellen en het boordiffusieproces van topcon-cellen.

Prestatievoordelen:

● Hoog ladingontwerp: De enkele boot die we produceren kan 200 ~ 300 siliciumwafels (dikte 160 ~ 180μm) dragen, waardoor de productiecapaciteit van de wafer per tijd eenheid sterk wordt verbeterd.

● Snelle temperatuurstijging en daling: Ultra-lage thermische expansiecoëfficiënt (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), dicht bij nuluitbreiding) ondersteunt een vermindering van 10% ~ 15% in de procescyclus.

● Anti-pid effect: Geen neerslag van natriumionen tijdens het laadproces van het siliciumwafer vermindert het risico op foto-geïnduceerde afbraak.

Ⅲ. Quartz Boat Packaging Specificaties

Veteksemicon Quartz-boten gebruiken meerlagige dichte verpakkingen om de integriteit van het product tijdens opslag en transport te waarborgen.

Tegelijkertijd ondersteunt VeteksEmincon aangepaste verlengde procesontwerp, zoals niet-standaardgrootte (fout ± 0,1 mm), meerlagige stapelontwerp (tot 5 lagen) en hoge temperatuurbestendige filmcoating (zoals SIC-coating). Verwelkom uw verdere consult.