Sic coating wafel drager

Vetek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie en het leveren van krachtige SIC-coatingwaforders en streeft ernaar geavanceerde technologie- en productoplossingen te bieden aan de halfgeleiderindustrie.

Bij de productie van halfgeleiders is de SIC -coatingwafordrager van Vetek Semiconductor een belangrijke component in apparatuur voor chemische dampafzetting (CVD), met name in apparatuur voor organische chemische dampafzetting (MOCVD). De hoofdtaak is het ondersteunen en verwarmen van het enkele kristallen substraat zodat de epitaxiale laag uniform kan groeien. Dit is essentieel voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten.

De corrosieweerstand van SIC -coating is zeer goed, wat de grafietbasis effectief kan beschermen tegen corrosieve gassen. Dit is vooral belangrijk in hoge temperatuur en corrosieve omgevingen. Bovendien is de thermische geleidbaarheid van SiC -materiaal ook zeer uitstekend, die warmte gelijkmatig kan leiden en een uniforme temperatuurverdeling kan garanderen, waardoor de groeivakwaliteit van epitaxiale materialen wordt verbeterd.

SIC -coating handhaaft chemische stabiliteit in hoge temperatuur en corrosieve atmosfeer, waardoor het probleem van het falen van coating wordt vermeden. Wat nog belangrijker is, is dat de thermische expansiecoëfficiënt van SiC vergelijkbaar is met die van grafiet, wat het probleem van het afsluiten van coaten kan voorkomen als gevolg van thermische expansie en contractie, en de stabiliteit en betrouwbaarheid van de coating op lange termijn waarborgen.

Basisfysische eigenschappen vanSic coating wafel drager:

Productiewinkel:

Overzicht van de Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: